[发明专利]能够形成图案的沉积装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种能够形成图案的沉积装置，更为详细地涉及一种能够以所希望的图案沉积大面积基板的能够形成图案的沉积装置。

背景技术

显示装置通过多种形式的具体工序而制造。在显示装置的制造工艺中的一个主要工序为在基板等上形成多个薄膜的工序，在这种形成薄膜的工序中广泛使用沉积工序。

这种沉积工序可分为在整个基板表面上涂敷均匀厚度薄膜的工序和只对基板的一部分进行选择性的沉积而形成图案的工序。

图1表示以往的沉积装置的一例。

参照图1，在所述的沉积工序中，只对基板的一部分进行选择性的沉积而在基板上使沉积物形成规定图案的以往的工序10如下：在腔室11内，在基板20与喷嘴12之间设置与基板20的面积相同大小的荫罩13，并且使从供给部14提供的原料通过形成在荫罩130上的图案后沉积在基板上，从而在基板20上形成规定的图案30。

但是，如上所述的过程，需要额外地设置与基板的面积相同面积的荫罩13，因此以往的沉积装置10具有难以紧凑地构成的问题。

此外，为了处理大面积基板，需要利用大型荫罩、或者利用小型荫罩并进行反复沉积的方法，因此难以迅速进行沉积工序。

发明内容

因此，本发明是为了解决所述以往的问题而提出的，其目的是提供一种能够形成图案的沉积装置，该能够形成图案的沉积装置能够由规定的原料迅速地沉积大面积基板，以使基板具有规定的图案形状。

所述目的通过本发明的能够形成图案的沉积装置而实现，该能够形成图案的沉积装置为用于在基板上沉积原料的装置，其特征在于，进一步包括：喷嘴部，形成有喷射口，用于向所述基板侧喷射原料；快门部，用于选择性地开闭喷嘴部的喷射口，从而选择性地喷射所述原料；及移送部，用于移送所述基板或所述喷嘴部中的至少一个。

此外，可进一步包括：控制部，用于控制所述快门部或移送部中的至少一个，以从而使所述原料在所述基板上形成规定形状的图案而沉积。

此外，所述控制部可调节所述喷射口的开闭时间。

此外，所述控制部可控制所述基板或喷嘴部中的至少一个的移送速度。

此外，所述快门部可以以板状安装在所述喷嘴部的端部，并且通过端部从所述喷射口的一侧至另一侧的滑动，开放或阻断所述喷射口。

此外，所述快门部可形成为在端部上形成有开口部的气缸形状，并且包覆所述喷嘴部，通过旋转转动而使所述开口部移动位置，从而开放或阻断所述喷射口。

此外，所述移送部可通过辊轮的旋转力而移送所述基板。

根据本发明，提供一种能够形成图案的沉积装置，该能够形成图案的沉积装置能够选择性地喷射原料，从而在基板上沉积使用者所希望的形状的图案。

此外，由于通过移送部移送基板或喷嘴部的同时实现沉积工序，因此能够迅速处理大面积基板。

此外，控制部控制通过移送部所进行的基板或喷嘴部的移送速度，从而能够调节在基板上形成的图案的形状。

此外，控制部控制喷射口的开放或关闭的时间，从而能够调节在基板上形成的图案的形状。

此外，可通过形成在喷嘴部的喷射口的形状，调节在基板上形成的图案的形状。

附图说明

图1为表示以往的沉积装置的一例的图，

图2为本发明的第一实施例的能够形成图案的沉积装置的立体图，

图3为用于说明图2的能够形成图案的沉积装置的示意的剖视图，

图4为从下方表示图2的能够形成图案的沉积装置的喷嘴部的图，

图5为图2的能够形成图案的沉积装置的喷嘴部的变形例的示意的剖视图，

图6为用于说明图2的能够形成图案的沉积装置的喷嘴部的运行的图，

图7为本发明的第二实施例的能够形成图案的沉积装置的立体图，

图8为本发明的第三实施例的能够形成图案的沉积装置的喷嘴部及快门部的立体图，

图9为表示图8的能够形成图案的沉积装置的喷嘴部及快门部的沿IX-IX’线剖开的面的动作的图。

具体实施方式

在对本发明进行说明之前需要说明的是，在多个实施例中，对于具有相同结构的构件使用相同的附图标记，并在第一实施例中进行代表性的说明，在其他实施例中针对与第一实施例不同的结构进行说明。

以下，参照附图对本发明的第一实施例的能够形成图案的沉积装置100进行详细的说明。

图2为本发明的第一实施例的能够形成图案的沉积装置的立体图，图3为用于说明图2的能够形成图案的沉积装置的示意的剖视图。