[发明专利]基板搬运装置

摘要

本发明的课题在于提高基板搬运装置的带式输送机的运转停止控制的实用性。在主输送机的搬运方向的上游侧端和中央位置上设置基板传感器，在基板长度为设定长度以下的情况下选择第二运转控制，根据由设于中央位置的下游侧基板传感器检测出基板下游侧端而停止主输送机(S7)。在基板长度比设定长度大且不需要较高的定位精度的情况下选择无校正第一运转控制，在由上游侧基板传感器检测出基板上游侧端后，使主输送机运转设定运转量并停止，使电路基板停止在电路基板的搬运方向的中点应该与下游侧基板传感器对应的位置(S3)。在需要较高的定位精度的情况下，选择带校正第一运转控制，从检测出基板下游侧端开始对输出脉冲数进行计数，与理论运转量进行比较，取得停止位置误差，停止后，再次运转主输送机，从而校正位置误差(S5、S6)。

主权项

一种基板搬运装置，其特征在于，包括：带式输送机，由输送带从下方支撑电路基板并在搬运方向上搬运所述电路基板；上游侧基板传感器及下游侧基板传感器，分别设于所述带式输送机的在所述搬运方向上相隔开的两处，在检测出电路基板的状态和未检测出电路基板的状态下输出不同的信号；第一运转控制部，在所述上游侧基板传感器检测出电路基板的所述搬运方向上的上游侧端或下游侧端的瞬间之后，使所述带式输送机运转设定运转量并停止；第二运转控制部，对应由所述下游侧基板传感器检测出电路基板的下游侧端而停止所述带式输送机的运转；以及运转控制选择部，能够选择这些第一运转控制部和第二运转控制部，所述运转控制选择部包括电路基板长度依据选择部，在电路基板的上游侧端与下游侧端之间的所述搬运方向上的距离即基板长度比设定长度长的情况下，所述电路基板长度依据选择部选择所述第一运转控制部，而在所述基板长度为设定长度以下的情况下，所述电路基板长度依据选择部则选择所述第二运转控制部。