[发明专利]基板搬运装置

权利要求书

1.一种基板搬运装置，其特征在于，包括：

带式输送机，由输送带从下方支撑电路基板并在搬运方向上搬运所述电路基板；

上游侧基板传感器及下游侧基板传感器，分别设于所述带式输送机的在所述搬运方向上相隔开的两处，在检测出电路基板的状态和未检测出电路基板的状态下输出不同的信号；

第一运转控制部，在所述上游侧基板传感器检测出电路基板的所述搬运方向上的上游侧端或下游侧端的瞬间之后，使所述带式输送机运转设定运转量并停止；

第二运转控制部，对应由所述下游侧基板传感器检测出电路基板的下游侧端而停止所述带式输送机的运转；以及

运转控制选择部，能够选择这些第一运转控制部和第二运转控制部，

所述运转控制选择部包括电路基板长度依据选择部，在电路基板的上游侧端与下游侧端之间的所述搬运方向上的距离即基板长度比设定长度长的情况下，所述电路基板长度依据选择部选择所述第一运转控制部，而在所述基板长度为设定长度以下的情况下，所述电路基板长度依据选择部则选择所述第二运转控制部。

2.根据权利要求1所述的基板搬运装置，其中，

所述第一运转控制部在所述上游侧基板传感器检测出电路基板的所述搬运方向上的上游侧端的瞬间之后使所述带式输送机运转设定运转量并停止，

所述基板搬运装置还包括：

实际运转量检测部，对通过所述第一运转控制部使所述带式输送机进行运转的期间从由所述下游侧基板传感器检测出电路基板的下游侧端的瞬间开始的所述带式输送机的实际运转量进行检测；以及

校正运转部，在通过所述第一运转控制部使所述带式输送机停止运转后使所述带式输送机再次运转并停止，以消除由所述实际运转量检测部检测出的实际运转量与理论运转量之差，所述理论运转量基于(a)所述设定运转量、(b)电路基板的上游侧端与下游侧端之间的所述搬运方向上的距离即基板长度及(c)所述上游侧基板传感器与所述下游侧基板传感器之间的所述搬运方向上的距离而确定。

3.根据权利要求1所述的基板搬运装置，其中，

所述第一运转控制部在所述上游侧基板传感器检测出电路基板的所述搬运方向上的下游侧端的瞬间之后使所述带式输送机运转设定运转量并停止，

所述基板搬运装置还包括：

实际运转量检测部，对通过所述第一运转控制部使所述带式输送机进行运转的期间从由所述下游侧基板传感器检测出电路基板的下游侧端的瞬间开始的所述带式输送机的实际运转量进行检测；以及

校正运转部，在通过所述第一运转控制部使所述带式输送机停止运转后使所述带式输送机再次运转并停止，以消除由所述实际运转量检测部检测出的实际运转量与理论运转量之差，所述理论运转量基于(a)所述设定运转量及(b)所述上游侧基板传感器与所述下游侧基板传感器之间的所述搬运方向上的距离而确定。

4.根据权利要求2或3所述的基板搬运装置，其中，

所述基板搬运装置包括要求停止位置精度对应动作/不动作决定部，在由所述运转控制选择部选择了第一运转控制部的状态下，由所述带式输送机搬运的电路基板需要比设定精度高的停止定位精度的情况下，所述要求停止位置精度对应动作/不动作决定部决定使所述实际运转量检测部和所述校正运转部动作，而在不需要比所述设定精度高的停止定位精度的情况下，所述要求停止位置精度对应动作/不动作决定部则决定不使所述实际运转量检测部和所述校正运转部动作。

5.根据权利要求1所述的基板搬运装置，其中，

所述下游侧基板传感器在所述基板长度比所述设定长度长的电路基板应该停止的位置处设置于与所述电路基板的所述上游侧端和所述下游侧端的所述搬运方向上的中点对应的位置上，所述设定运转量设定为所述中点处于与所述下游侧基板传感器对应的位置的运转量。