[发明专利]过滤阴极电弧沉积设备和方法有效
| 申请号： | 201280059992.4 | 申请日： | 2012-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN104364416B | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | M.吉雷克森;M.吉雷克琼;O.柯德特 | 申请（专利权）人： | 帕拉迪特公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/35;H01J37/34;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/56;C23C14/54;C23C14/34;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 吴艳 |
| 地址： | 捷克顺*** | 国省代码： | 捷克;CZ |
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| 摘要： | 一种真空沉积设备，包括用于在基板上施加涂层的阴极电弧源。阴极电弧源包括用于产生磁场的聚焦磁性源、包含膜形成材料的电弧阴极和阳极。聚焦磁性源安置在电弧阴极和基板之间。在阴极蒸发表面上产生的电弧斑被磁场线保持在磁场线垂直于阴极表面的地方。 | ||
| 搜索关键词： | 过滤 阴极 电弧 沉积 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于在真空中在基板上施加涂层的过滤阴极真空电弧沉积设备，包括：‑真空涂布腔室(2)，基板保持器(1)安置在所述真空涂布腔室(2)中；‑连接到电流源(12)的负极的具有圆柱形状的至少一个可消耗的电弧阴极；‑连接到所述电流源(12)的正极的与所述电弧阴极相关联的至少一个阳极(10)；‑其中所述电弧阴极在它的外圆柱护套上是可消耗的；‑安置在所述电弧阴极和所述基板保持器(1)之间的用于产生磁场的至少一个水冷电磁线圈(8)，其特征在于，所述电弧阴极是旋转电弧阴极，‑所述水冷电磁线圈(8)是长型的环形形状并且所述水冷电磁线圈(8)的所述磁场的最高强度的中心区域安置在平行于旋转电弧阴极轴的线上；‑由所述水冷电磁线圈(8)产生的磁场线(17)被限制在所述旋转电弧阴极和所述基板保持器(1)之间的空间中；‑其中所述阳极(10)被定位为以使得电弧放电燃烧从所述旋转电弧阴极，通过所述水冷电磁线圈(8)，到所述阳极(10)。
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