[发明专利]用于材料共沉积的气相传输沉积方法及系统有效
| 申请号： | 201280056744.4 | 申请日： | 2012-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN104053811A | 公开（公告）日： | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人： | 约翰·巴顿;瑞克·C·鲍威尔 | 申请（专利权）人： | 第一太阳能有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/22;C03C17/00;C23C14/56;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 王占杰;韩芳 |
| 地址： | 美国俄亥俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种改进的用于持续气相传输沉积的方法和给料器系统，所述给料器系统包括通过改进的密封件结合到共同的分配器的至少两个蒸发器，以用于分别蒸发和收集至少任何两种可蒸发材料，以使材料在基底上沉积为材料层。多个蒸发器提供冗余操作并允许在蒸发器维修和修理期间持续沉积。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 材料 沉积 相传 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种设备，所述设备包括：第一蒸发器单元，用于蒸发第一粉末材料；第二蒸发器单元，用于蒸发第二粉末材料；以及蒸气分配单元，用于分别收集来自所述第一蒸发器单元和所述第二蒸发器单元的蒸气并分别输出来自所述第一蒸发器单元和所述第二蒸发器单元的蒸气。
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