[发明专利]制备基于硫属化物的光伏电池的方法

摘要

本发明是一种在制备光伏电池过程中在基于铜硫属化物的吸收体上形成基于硫化镉缓冲体的方法。以两个步骤溅射该缓冲体，第一步骤在低速率或相对高压下，且第二步骤在高速率或相对低压下。所得的电池具有良好的效率，并且根据一个实施方案，特征在于在吸收体和缓冲体层之间的狭窄界面。根据第二实施方案，缓冲体的特征还在于相对高的氧含量。

主权项

一种方法，所述方法包括：在基板上形成基于硫属化物的吸收体层，通过以小于10nm/min的速率溅射，或通过以8至12Pa的工作压力溅射，在所述吸收体上形成包含镉和硫的缓冲体层的第一部分，以产生1至20nm的所述第一部分的厚度，以及通过以至少20nm/min的速率或不大于1Pa的工作压力溅射，形成包含镉和硫的所述缓冲体层的第二部分，其中，所述第二部分的厚度为至少15nm。