[发明专利]制作于玻璃上的压电麦克风

摘要

本发明提供用于机电麦克风装置中的感测元件的系统、方法及设备。在一个方面中，压电感测元件可包含玻璃衬底、电极层、压电层及弹性层。所述弹性层可用于修改所述压电感测元件的中性平面。包含用以修改所述压电感测元件的所述中性平面的一或若干弹性层可用于配置所述感测元件使得所述压电层响应于声波而产生电压，或可用于增加所述感测元件的敏感度。

主权项

一种用于检测声音的设备，其包括：玻璃衬底；第一电极层，所述第一电极层具有安置于所述玻璃衬底上的第一部分及悬置于所述玻璃衬底上方的第二部分；第一压电层，其安置于所述第一电极层上；第二电极层，其安置于所述第一压电层上；第二压电层，其安置于所述第二电极层上；第三电极层，其安置于所述第二压电层上；及弹性层，其安置于所述第三电极层的至少一部分上；其中所述第一电极层的所述第二部分经配置以在所述第一压电层中产生第一应变且在所述第二压电层中产生第二应变。