[发明专利]制作于玻璃上的压电麦克风

权利要求书

1.一种用于检测声音的设备，其包括：

玻璃衬底；

第一电极层，所述第一电极层具有安置于所述玻璃衬底上的第一部分及悬置于所述玻璃衬底上方的第二部分；

第一压电层，其安置于所述第一电极层上；

第二电极层，其安置于所述第一压电层上；

第二压电层，其安置于所述第二电极层上；

第三电极层，其安置于所述第二压电层上；及

弹性层，其安置于所述第三电极层的至少一部分上；

其中所述第一电极层的所述第二部分经配置以在所述第一压电层中产生第一应变且在所述第二压电层中产生第二应变。

2.根据权利要求1所述的设备，其中所述弹性层修改所述第一电极层、所述第一压电层、所述第二电极层、所述第二压电层及所述第三电极层的中性平面。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的设备，其中所述弹性层包含氮化硅、氧氮化硅、氧化硅、硅、氮化铝、金属及聚合物中的至少一者。

4.根据权利要求1到3中任一权利要求所述的设备，其中所述第一压电层的厚度或所述第二压电层的厚度中的至少一者为约0.25微米到5微米。

5.根据权利要求1到4中任一权利要求所述的设备，其中所述第一电极层的厚度、所述第二电极层的厚度或所述第三电极层的厚度中的至少一者为约50纳米到300纳米。

6.根据权利要求1到5中任一权利要求所述的设备，其中所述第一压电层及所述第二压电层中的至少一者包含氮化铝。

7.根据权利要求1到6中任一权利要求所述的设备，其中所述第一电极层、所述第二电极层或所述第三电极层包含铜、铂、钼、钨、钌、金及铝中的至少一者。

8.根据权利要求1到7中任一权利要求所述的设备，其中所述第一电极层的所述第二部分包含经配置以与声波相互作用的部件。

9.根据权利要求1到8中任一权利要求所述的设备，其进一步包括：

显示器；

处理器，其经配置以与所述显示器通信，所述处理器经配置以处理图像数据；及

存储器装置，其经配置以与所述处理器通信。

10.根据权利要求9所述的设备，其进一步包括：

驱动器电路，其经配置以将至少一个信号发送到所述显示器；及

控制器，其经配置以将所述图像数据的至少一部分发送到所述驱动器电路。

11.根据权利要求9或权利要求10所述的设备，其进一步包括：

图像源模块，其经配置以将所述图像数据发送到所述处理器。

12.根据权利要求11所述的设备，其中所述图像源模块包含接收器、收发器及发射器中的至少一者。

13.根据权利要求9到12中任一权利要求所述的设备，其进一步包括：

输入装置，其经配置以接收输入数据且将所述输入数据传递到所述处理器。

14.一种用于检测声音的设备，其包括：

玻璃衬底；

第一电极层，所述第一电极层具有附接到所述玻璃衬底的第一部分及从所述玻璃衬底拆分的第二部分；

第一压电层，其安置于所述第一电极层上；

第二电极层，其安置于所述第一压电层上；

弹性层，其安置于所述第二电极层上；

第三电极层，其安置于所述弹性层上；

第二压电层，其安置于所述第三电极层上；及

第四电极层，其安置于所述第二压电层上；

其中所述第一电极层的所述第二部分经配置以在所述第一压电层中产生第一应变且在所述第二压电层中产生第二应变。

15.根据权利要求14所述的设备，其中所述弹性层修改所述第一电极层、所述第一压电层、所述第二电极层、所述第三电极层、所述第二压电层及所述第四电极层的中性平面。

16.根据权利要求14或权利要求15所述的设备，其中所述第一电极层的所述第二部分包含经配置以与声波相互作用的部件。