[发明专利]具有紧凑无轴直接驱动器的基板传输设备有效

专利信息
申请号: 201280044529.2 申请日: 2012-07-13
公开(公告)号: CN103857496A 公开(公告)日: 2014-06-11
发明(设计)人: R.T.卡夫尼 申请(专利权)人: 布鲁克斯自动化公司
主分类号: B25J9/12 分类号: B25J9/12
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 李涛;谭祐祥
地址: 美国马*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 一种基板传输设备包括框体、可旋转地连接至所述框体的至少一个臂连杆和无轴驱动部段。所述无轴驱动部段包括堆叠的驱动电动机,用于经由无轴界面相对于所述框体旋转所述至少一个臂连杆,所述堆叠的驱动电动机中的每个包括定子和转子,所述定子具有定子线圈,所述定子线圈设置在相对于所述框体固定的固定支柱上,所述转子大致周向地环绕所述定子,使得所述转子连接至所述至少一个臂连杆中的相应一个,以相对于所述框体旋转所述至少一个臂连杆中的一个,从而导致所述至少一个臂连杆之一的伸出或缩回,其中所述堆叠的驱动电动机设置在所述至少一个臂连杆中,使得每个定子的至少一部分处于所述至少一个臂连杆的共用臂连杆内。
搜索关键词: 具有 紧凑 直接 驱动器 传输 设备
【主权项】:
 一种基板传输设备,包括:框体;至少一个臂连杆,其可旋转地连接至所述框体;和无轴驱动部段,所述无轴驱动部段包括堆叠的驱动电动机,用于经由无轴界面相对于所述框体旋转所述至少一个臂连杆,所述堆叠的驱动电动机中的每个包括定子和转子,所述定子具有定子线圈,所述定子线圈设置在相对于所述框体固定的固定支柱上,所述转子大致周向地环绕所述定子,使得所述转子连接至所述至少一个臂连杆中的相应一个,以相对于所述框体旋转所述至少一个臂连杆中的相应一个,从而导致所述至少一个臂连杆的伸出或缩回,其中所述堆叠的驱动电动机设置在所述至少一个臂连杆中,使得每个定子的至少一部分处于所述至少一个臂连杆的共用臂连杆内。
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