[发明专利]图案形成装置和方法以及制造形成有图案的基板的方法有效
| 申请号： | 201280042240.7 | 申请日： | 2012-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN103766013A | 公开（公告）日： | 2014-04-30 |
| 发明（设计）人： | 儿玉淳 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | H05K3/40 | 分类号： | H05K3/40;H01L21/28;H01L21/288;H01L21/768;H05K1/11;H05K3/00;H05K3/10 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 陈松涛;韩宏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 图案形成装置包括：激光照射设备，其配置成发射激光光束并引导其通过基板中形成的孔的开口部分进入孔；具有反射表面的光反射设备，反射表面配置成反射激光以使用所反射的激光照射孔的内表面，反射表面布置在孔的底部以面向开口部分；液滴喷射设备，其配置成将导电油墨的液滴喷射并沉积到孔中；以及控制设备，其配置成控制激光照射设备以使用反射表面上反射的激光来照射孔的内表面并对其进行改性，并且控制液滴喷射设备以将导电油墨的液滴喷射并沉积到内表面已经被改性的孔中。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 装置 方法 以及 制造 | ||
【主权项】：
一种图案形成装置，包括：数据获取设备，其配置成根据已经形成有孔的基板的形状信息来获取激光照射数据和液滴沉积数据；激光照射设备，其配置成发射激光光束并引导其通过所述孔的开口部分进入所述孔；具有反射表面的光反射设备，所述反射表面配置成反射通过所述孔的所述开口部分进入所述孔的激光，以使用所反射的激光照射所述孔的内表面，所述反射表面布置在所述孔的底部以面向所述孔的所述开口部分；液滴喷射设备，其配置成将导电油墨的液滴喷射并沉积到所述孔中；以及控制设备，其配置成根据所述激光照射数据来控制所述激光照射设备，以使用在所述反射表面上反射的激光来照射所述孔的所述内表面并对其进行改性，并且根据所述液滴沉积数据来控制所述液滴喷射设备，以将所述导电油墨的所述液滴喷射并沉积到所述内表面已经被改性的所述孔中。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于富士胶片株式会社，未经富士胶片株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201280042240.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种平衡阀瞬态试验装置及瞬态试验方法
- 下一篇：一种葵花籽专用肥制造方法
