[发明专利]拍摄装置、元件安装装置及元件测试装置

摘要

一种TDI传感器，以指定时期进行线图像的拍摄动作，输出经多次曝光的线图像以作为每条拍摄线的图像。TDI传感器包括受光部，包含像素列和电荷保持列，且一个所述像素列和一个或多个所述电荷保持列沿着与第一方向正交的第二方向交替地排列，所述像素列具有沿着所述第一方向排列且分别生成并保持对应于曝光量的电荷的多个拍摄器件，所述电荷保持列具有多个电荷保持部，所述多个电荷保持部仅具有保持所述电荷的功能且以对应于所述像素列的各拍摄器件的方式沿着所述第一方向排列；传送部，将所述像素列的拍摄器件及所述电荷保持列的电荷保持部所保持的电荷以列为单位依次传送到相邻的列，且将对应于由所述传送而最终累积的电荷的信号作为所述线图像的信号输出。

主权项

一种拍摄装置，其特征在于，在互不相同的照明条件下拍摄第一元件及第二元件，该拍摄装置包括：TDI传感器，包括：受光部，包含像素列和电荷保持列，且一个所述像素列和一个或多个所述电荷保持列沿着与第一方向正交的第二方向交替地排列，所述像素列具有沿着所述第一方向排列且分别生成并保持对应于曝光量的电荷的多个拍摄器件，所述电荷保持列具有多个电荷保持部，所述多个电荷保持部仅具有保持所述电荷的功能且以对应于所述像素列的各拍摄器件的方式沿着所述第一方向排列；传送部，将所述像素列的拍摄器件及所述电荷保持列的电荷保持部所保持的电荷以列为单位依次传送到相邻的列，并且将对应于由所述传送而最终累积的电荷的信号作为线图像的信号输出；移动机构，在所述第一元件及所述第二元件沿着所述第一方向排成一列的状态下，使该两元件相对于所述TDI传感器沿所述第二方向相对移动；照明机构，能够对由所述移动机构移动的所述两元件进行照明，并且能够将该照明条件改变成所述两元件的照明条件；拍摄控制装置，在所述两元件相对于所述TDI传感器的相对移动的过程中，控制所述TDI传感器的拍摄时期及所述照明机构的照明条件的切换时期，以便将所述照明机构的照明条件依次切换为所述两元件的照明条件，并由所述像素列的拍摄器件获取每个所述照明条件下的元件的线图像，并且控制所述TDI传感器中的所述电荷的传送时期，以便与所述拍摄时期同步地进行所述电荷的传送；图像处理装置，从所述TDI传感器输出的所述线图像中的基于所述第一元件的照明条件而拍摄的线图像抽出所述第一元件的图像，并且从基于所述第二元件的照明条件而拍摄的线图像抽出所述第二元件的图像，从而分别生成所述第一元件的图像及所述第二元件的图像。