[发明专利]拍摄装置、元件安装装置及元件测试装置

权利要求书

1.一种拍摄装置，其特征在于，在互不相同的照明条件下拍摄第一元件及第二元件，该拍摄装置包括：

TDI传感器，包括：受光部，包含像素列和电荷保持列，且一个所述像素列和一个或多个所述电荷保持列沿着与第一方向正交的第二方向交替地排列，所述像素列具有沿着所述第一方向排列且分别生成并保持对应于曝光量的电荷的多个拍摄器件，所述电荷保持列具有多个电荷保持部，所述多个电荷保持部仅具有保持所述电荷的功能且以对应于所述像素列的各拍摄器件的方式沿着所述第一方向排列；传送部，将所述像素列的拍摄器件及所述电荷保持列的电荷保持部所保持的电荷以列为单位依次传送到相邻的列，并且将对应于由所述传送而最终累积的电荷的信号作为线图像的信号输出；

移动机构，在所述第一元件及所述第二元件沿着所述第一方向排成一列的状态下，使该两元件相对于所述TDI传感器沿所述第二方向相对移动；

照明机构，能够对由所述移动机构移动的所述两元件进行照明，并且能够将该照明条件改变成所述两元件的照明条件；

拍摄控制装置，在所述两元件相对于所述TDI传感器的相对移动的过程中，控制所述TDI传感器的拍摄时期及所述照明机构的照明条件的切换时期，以便将所述照明机构的照明条件依次切换为所述两元件的照明条件，并由所述像素列的拍摄器件获取每个所述照明条件下的元件的线图像，并且控制所述TDI传感器中的所述电荷的传送时期，以便与所述拍摄时期同步地进行所述电荷的传送；

图像处理装置，从所述TDI传感器输出的所述线图像中的基于所述第一元件的照明条件而拍摄的线图像抽出所述第一元件的图像，并且从基于所述第二元件的照明条件而拍摄的线图像抽出所述第二元件的图像，从而分别生成所述第一元件的图像及所述第二元件的图像。

2.根据权利要求1所述的拍摄装置，其特征在于：

所述电荷保持列由作为所述电荷保持部的电容器排列而成。

3.根据权利要求2所述的拍摄装置，其特征在于：

所述电荷保持列具有比所述像素列的所述第二方向上的宽度尺寸更小的宽度尺寸。

4.根据权利要求1所述的拍摄装置，其特征在于：

所述电荷保持列是与所述像素列同等的像素列，在该电荷保持列的各拍摄器件的表面形成有阻止光射入的遮光部。

5.一种元件安装装置，其特征在于包括：

头部，能够保持元件；

权利要求1至4中任一项所述的拍摄装置，用于拍摄所述元件；

移载机构，包含所述移动机构，并且根据由所述头部保持并由所述拍摄装置拍摄的所述元件的图像数据，识别所述头部保持的元件的保持状态，然后由所述头部将所述元件移载到基板上；其中，

所述移动机构使所述头部和所述TDI传感器沿着所述第二方向相对移动，

所述移载机构使所述头部相对于所述基板相对移动，以便将所述元件搭载在所述基板上。

6.一种元件测试装置，其特征在于包括：

头部，能够保持元件；

权利要求1至4中任一项所述的拍摄装置，用于拍摄所述元件；

移载机构，包含所述移动机构，并且根据由所述头部保持并由所述拍摄装置拍摄的所述元件的图像数据，识别所述头部保持的元件的保持状态，然后由所述头部将所述元件移载到指定的检查部上；其中，

所述移动机构使所述头部和所述TDI传感器沿着所述第二方向相对移动，

所述移载机构使所述头部相对于所述检查部相对移动，以便将所述元件载置于所述检查部。