[发明专利]具有视需要氧化钇覆盖层的经AlON涂布的基质有效
| 申请号： | 201280037461.5 | 申请日： | 2012-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN103918065A | 公开（公告）日： | 2014-07-09 |
| 发明（设计）人： | 尼雷须·困达 | 申请（专利权）人： | 恩特格林斯公司 |
| 主分类号： | H01L21/318 | 分类号： | H01L21/318 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开一种位于陶瓷基质上的抗氟电浆涂层。在一个具体实例中，该组成物包括覆盖基质的约2微米厚的AlON涂层及视需要具有的覆盖该AlON涂层的约3微米厚的氧化钇涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 需要 氧化钇 覆盖层 alon 基质 | ||
【主权项】：
一种基质，其特征在于，其包含覆盖该基质的AlON层及视需要存在的覆盖该AlON的氧化钇层。
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