[发明专利]电阻变化元件及其制造方法

摘要

一种电阻变化元件，具有第1电极（107）、第2电极（105）、以及介于第1、第2电极（107、105）间并与第1、第2电极（107、105）相接而设置、基于施加的电信号而电阻值可逆地变化的电阻变化层（106）；电阻变化层（106）通过由氧不足型的第1金属氧化物构成的第1电阻变化层（106b）、和由氧不足度比第1电阻变化层（106b）的氧不足度小的第2过渡金属氧化物构成的第2电阻变化层（106a）的层叠构造而构成；第2电极（105）在与第2电阻变化层（106a）之间的界面处仅具有一个针状部；第2电阻变化层（106a）介于第1电阻变化层（106b）与第2电极（105）之间并与第1电阻变化层（106b）和第2电极（105）相接、并且覆盖上述针状部而设置。

主权项

一种电阻变化元件，具有第1电极、第2电极和电阻变化层，该电阻变化层被设置为，介于上述第1电极与上述第2电极之间并与上述第1电极和上述第2电极相接，该电阻变化层的电阻值基于在上述第1电极与上述第2电极之间施加的电信号而可逆地变化，上述电阻变化层通过将第1电阻变化层和第2电阻变化层层叠而构成，该第1电阻变化层由氧不足型的第1过渡金属氧化物层构成，该第2电阻变化层由氧不足度比上述第1过渡金属氧化物的氧不足度小的第2过渡金属氧化物构成；上述第2电极具有朝向上述第2电阻变化层突出的仅一个针状部；上述第2电阻变化层被设置为，介于上述第1电阻变化层与上述第2电极之间并与上述第1电阻变化层和上述第2电极相接，并且覆盖上述第2电极的上述针状部。