[实用新型]一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置有效
申请号: | 201220727157.0 | 申请日: | 2012-12-26 |
公开(公告)号: | CN203039998U | 公开(公告)日: | 2013-07-03 |
发明(设计)人: | 朱锦华 | 申请(专利权)人: | 江苏达胜加速器制造有限公司 |
主分类号: | H05H7/14 | 分类号: | H05H7/14 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
地址: | 215214 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置,包括四通,所述四通的一端连接有分子泵,所述分子泵与前级泵相连接,所述四通的另一端还连接有离子泵。本实用新型解决了现有技术中加速器的真空度无法达到要求的问题,通过在加速器的四通上安装两路可同时工作的抽真空系统,使加速器能获得较为满意的真空度,当加速器不出束时,通过插板阀切断其中一路抽真空系统,即可保证加速器的正常工作,从而保住了加速器的束流品质。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 电子 辐照 加速器 真空 装置 | ||
【主权项】:
一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置,包括四通(1),其特征在于:所述四通(1)的一端连接有分子泵(2),所述分子泵(2)与前级泵(3)相连接,所述四通(1)的另一端还连接有离子泵(4)。
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