[实用新型]一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及了一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，属于加速器真空技术领域。

背景技术

电子辐照加速器的真空系统主要有电子轮、加速管支座、漂移管、波纹管、扫描磁铁芯管、扫描盒及抽气系统组成。真空抽气系统是加速器真空系统的重要系统。加速器要求的真空度主要由系统的残余气体分子与电子束的碰撞，由避免及减少由碰撞产生的库仑散射带来的能量损失程度来决定。因此，真空度至少不大于10³帕，分子的平均自由程达5米以上，才能获得一个满意的束流品质，原美国RDI公司加速器在四通处动态真空为10⁴帕，这样的真空对于加速器真空显然是不满意的，因此具有一个良好的真空抽气系统来改善束流品质，提高加速器的性能是很重要的关键。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，能够使加速器具有良好的真空度，以改变其束流品质，提高加速器的性能。

 为了解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：

一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，包括四通，所述四通的一端连接有分子泵，所述分子泵与前级泵相连接，所述四通的另一端还连接有离子泵。

前述的一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，其特征在于：所述分子泵与四通之间设置有插板阀。

前述的一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，其特征在于：所述分子泵与前级泵之间还设置有检漏阀门。

前述的一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，其特征在于：所述分子泵为FB450型涡轮分子泵。

前述的一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，其特征在于：所述离子泵为L400型溅射型离子泵。

 本实用新型的有益效果是：通过在加速器的四通上安装两路可同时工作的抽真空系统，使加速器能获得较为满意的真空度，当加速器不出束时，通过插板阀切断其中一路抽真空系统，即可保证加速器的正常工作，从而保住了加速器的束流品质。

附图说明

 图1是本实用新型一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置的结构示意图。

具体实施方式

    下面将结合说明书附图，对本实用新型作进一步的说明。

     如图1所示，一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，包括四通1，所述四通1的一端连接有分子泵2，所述分子泵2与前级泵3相连接，所述四通1的另一端还连接有离子泵4，其中分子泵2为FB450型涡轮分子泵，离子泵4为L400型溅射型离子泵。二路抽真空系统同时工作，可保证获得满意的真空度。

分子泵2与四通1之间设置有插板阀5，当加速器不出束时关闭插板阀5切断分子泵2抽气回路，仅启动离子泵4来维持真空。经一段工作时间，系统仅启动离子泵4就可以保证加速器的正常工作。

分子泵2与前级泵3之间还设置有检漏阀门6，满足真空系统检漏的需要，真空密封采用无氧铜密封垫。

综上所述，本实用新型提供的一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，能够使加速器具有良好的真空度，以改变其束流品质，提高加速器的性能。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征及优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界。