[实用新型]耐腐蚀分子泵

摘要

本实用新型公开一种耐腐蚀分子泵，包括设置有通道的泵体，所述通道的一端为吸气口，另一端为排气口；通道内设置有转轴，套设于转轴外的转子，以及连通吸气口和排气口的抽气机构；转子朝向转轴支撑端的一端与转轴支撑端配合形成有密封气体通道；转轴支撑端的端面上设置有叶槽轮，叶槽轮朝向转子的端面上设置有多个槽谷，多个槽谷的旋向与转子的转动方向一致。转子以适当转速转动时，叶槽轮与转子牵引面之间将形成密封气体的动密封结构并产生单向抽气的功能，使得密封气体从转轴的轴系腔通过密封气体通道流向分子泵的排气口，从而阻挡腐蚀性气体进入轴系腔，实现腐蚀性气体良好的密封隔离效果，并且该分子泵结构简单并具有广泛适用性。

主权项

一种耐腐蚀分子泵，包括设置有通道的泵体（1），所述通道的一端为吸气口（11），另一端为排气口（12）；沿所述通道的轴向，在所述通道内固定设置有转轴（2），与所述转轴（2）相连接设置有驱动系统（5）；还包括套设于所述转轴（2）外的转子（3），以及套设于所述转子（3）外与所述转子（3）联动设置、并用于连通所述吸气口（11）和所述排气口（12）的抽气机构（4）；其特征在于，所述转子（3）朝向转轴支撑端（131）的一端与所述转轴支撑端（131）配合形成有密封气体通道（6）；在所述转轴支撑端（131）的端面上设置有叶槽轮（7），所述叶槽轮（7）朝向所述转子（3）的端面上设置有多个槽谷（71），所述多个槽谷（71）的旋向与所述转子（3）的转动方向一致。