[实用新型]耐腐蚀分子泵

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种耐腐蚀分子泵，属于真空泵领域。

背景技术

分子泵,特别是涡轮分子泵是一种常用的抽真空设备，它利用高速旋转的动叶轮将动量传输给气体分子，使气体产生定向流动并被压缩、驱向至排气口排出以获得真空。由于涡轮分子泵具有启动快、污染少以及能够获得清洁的超高真空等优点，近年来被大批量地应用于工业领域。但是，对于一些涉及腐蚀性气体的特殊行业，例如灯具制造、玻璃镀膜或者太阳能光伏设备制造行业，常常需要分子泵能够满足抽出腐蚀性气体的要求，这就对分子泵的抗腐蚀性能提出了更高的要求。

为了满足上述要求，常用的措施有：

措施一、选择耐腐蚀性材料来制作真空泵的气室，例如中国专利文献CN201351591Y公开了一种耐腐蚀隔膜真空泵，其气室采用耐腐蚀的复合材料制得，从而使得隔膜真空泵具有耐腐蚀功能。

措施二、采取对真空泵的某些部件进行局部材料替换或增加特殊材料的方法来提高耐腐蚀性，例如中国专利文献CN201650734U公开一种复合型耐腐蚀水环式真空泵，其在泵体、泵盖和分配圆盘过流工作面上喷涂有聚苯硫醚涂层，叶轮为由玻纤增强的聚苯硫醚整体注塑件，从而利用聚苯硫醚材料以及玻纤的抗腐蚀性能使得真空泵的耐腐蚀性增强。

从分子泵的结构来看，现有的分子泵的结构，诸如中国专利文献CN101092965A所公开的一种分子泵，其包括电机组件，由动叶片串联组成的动叶轮组件、静叶片、电机主轴、泵壳、泵底盘以及排气口，其中，动叶轮组件直连在电机主轴上，动叶片和静叶片交错排列，静叶片固定在泵壳和泵底盘上。上述分子泵用于抽出腐蚀性气体时，需要对分子泵的各组件，特别是置于泵壳内部的电机组件进行防腐蚀保护。

然而，上述现有技术中，选择采取措施一来提高分子泵的抗腐蚀性，一般来讲，采用耐腐蚀性材料制备的适用于真空泵的零部件往往成本都很高，所以从整体上提高了真空泵的整体造价；选择采取措施二来提高分子泵的抗腐蚀性，由于需要在腐蚀性液体与泵体之间设置隔膜通道对二者进行隔离，使得真空泵的结构更为复杂，不具有广泛的适用性。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是现有技术中的真空泵如果采用措施一来提高分子泵的耐腐蚀性，则会提高真空泵的整体造价；如果采用措施二来提高分子泵的耐腐蚀性，则会使得真空泵的结构更为复杂，从而提供一种结构简单、腐蚀性气体隔离效果良好并且具有广泛适用性的耐腐蚀分子泵。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种耐腐蚀分子泵，包括设置有通道的泵体，所述通道的一端为吸气口，另一端为排气口；沿所述通道的轴向，在所述通道内固定设置有转轴，与所述转轴相连接设置有驱动系统；还包括套设于所述转轴外的转子，以及套设于所述转子外与所述转子联动设置、并用于连通所述吸气口和所述排气口的抽气机构;所述转子朝向转轴支撑端的一端与所述转轴支撑端配合形成有密封气体通道；在所述转轴支撑端的端面上设置有叶槽轮，所述叶槽轮朝向所述转子的端面上设置有多个槽谷，所述多个槽谷的旋向与所述转子的转动方向一致。

上述耐腐蚀分子泵中，所述槽谷直接成型在所述叶槽轮朝向所述转子的端面上。

上述耐腐蚀分子泵中，在所述叶槽轮朝向所述转子的端面上，沿所述转子的转动方向均匀固定安装或一体成型有多个槽条，所述多个槽条之间形成所述槽谷。

上述耐腐蚀分子泵中，在所述通道内设置有朝向所述吸气口延伸用于安装所述转轴的支撑部，所述支撑部朝向所述转子的一端构成所述转轴支撑端。

上述耐腐蚀分子泵中，所述转轴支撑端为凸台，所述转子朝向所述凸台的端部轴向开设有第一凹槽，所述凸台延伸至所述第一凹槽内，所述凸台的外缘与所述第一凹槽的内缘配合形成适于气体流通的所述密封气体通道，所述叶槽轮设置在所述凸台朝向所述第一凹槽延伸的端面上并与所述转子之间具有适于气体流通的间隙。

上述耐腐蚀分子泵中，所述转轴支撑端为凹槽，所述转子朝向所述凹槽的端部轴向具有突出部，所述突出部延伸至所述凹槽内，所述凹槽的内缘与所述突出部的外缘配合形成适于气体流通的所述密封气体通道，所述叶槽轮设置在所述凹槽朝向所述突出部的底面上并与所述转子之间具有适于气体流通的间隙。

上述耐腐蚀分子泵中，所述支撑部还包括有容纳部和端盖，所述容纳部设置于所述支撑部远离所述转子的一端，所述驱动系统设置在所述容纳部内，所述端盖封盖所述容纳部的开口。