[实用新型]扩散悬臂炉及其硅片承载装置有效
| 申请号： | 201220703299.3 | 申请日： | 2012-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN203034145U | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 刘波;李永 | 申请（专利权）人： | 深圳深爱半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/14 | 分类号： | C30B31/14;H01L21/673 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 吴平 |
| 地址： | 518118 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种扩散悬臂炉的硅片承载装置，包括用于承载硅片的石英舟和用于架起所述石英舟的舟桨，所述舟桨包括两平行设置的圆杆及连接所述圆杆的连接杆。将承载有硅片的石英舟放置在舟桨上，然后推动舟桨将硅片送入扩散悬臂炉内，把舟桨设计成包括两两平行设置的圆杆及连接两圆杆的连接杆，与传统的方形舟车相比，减小了舟桨与扩散悬臂炉内壁的接触面积（面接触变为线接触），舟桨不易与扩散悬臂炉内壁粘结，出炉时不需要撬动便可将舟桨从炉内取出来，避免了因撬动舟桨而造成硅片崩缺或舟桨断裂。此外，本实用新型还提供了一种扩散悬臂炉。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 悬臂 及其 硅片 承载 装置 | ||
【主权项】：
一种扩散悬臂炉的硅片承载装置，包括用于承载硅片的石英舟和用于架起所述石英舟的舟桨，其特征在于，所述舟桨包括两平行设置的圆杆及连接所述圆杆的连接杆。
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