[实用新型]一种用于真空镀膜膜厚测试的支架有效
| 申请号： | 201220648551.5 | 申请日： | 2012-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN202968684U | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 李凯;段冰;彭开烨 | 申请（专利权）人： | 四川虹欧显示器件有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/30;G01B21/08 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 詹永斌 |
| 地址： | 621000 四川省绵阳市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于真空镀膜膜厚测试的支架，主要包括支架加强板（1）、样品托板（2）和样品放置口（3）。所述的支架加强板（1）与样品托板（2）之间均采用紧固螺钉（4）紧固连接；所述的支架加强板（1）厚度为所述的样品托板（2）厚度的两倍至四倍之间；所述的样品托板（2）上均匀设置有若干个样品放置口（3）和若干个螺纹孔；所述的样品放置口（3）呈“十”字型，中部是矩形通孔，上下端是矩形沉头槽；所述的支架加强板（1）、样品托板（2）和紧固螺钉（4）均采用不锈钢制成。利用本实用新型所制得的膜厚测试样品，镀膜均匀，镀膜效率高，成本低廉，测试数据准确，并且没有传统的玻璃基板破碎风险。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空镀膜 测试 支架 | ||
【主权项】：
一种用于真空镀膜膜厚测试的支架，其特征在于：所述的支架包括支架加强板（1）、样品托板（2）和样品放置口（3），所述的支架加强板（1）与样品托板（2）之间紧固连接，所述的样品放置口（3）设置在样品托板（2）上。
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