[实用新型]一种用于真空镀膜膜厚测试的支架有效

专利信息
申请号: 201220648551.5 申请日: 2012-11-30
公开(公告)号: CN202968684U 公开(公告)日: 2013-06-05
发明(设计)人: 李凯;段冰;彭开烨 申请(专利权)人: 四川虹欧显示器件有限公司
主分类号: C23C14/54 分类号: C23C14/54;C23C14/30;G01B21/08
代理公司: 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 代理人: 詹永斌
地址: 621000 四川省绵阳市*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 真空镀膜 测试 支架
【权利要求书】:

1. 一种用于真空镀膜膜厚测试的支架,其特征在于:所述的支架包括支架加强板(1)、样品托板(2)和样品放置口(3),所述的支架加强板(1)与样品托板(2)之间紧固连接,所述的样品放置口(3)设置在样品托板(2)上。

2. 根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜膜厚测试的支架,其特征在于:所述的支架加强板(1)的数量是两条,并且是以样品托板(2)长边对称轴为中心对称分布在样品托板(2)的两侧边缘。

3. 根据权利要求1或者2所述的一种用于真空镀膜膜厚测试的支架,其特征在于:单条所述的支架加强板(1)呈细长矩形状,其厚度为所述的样品托板(2)厚度的两倍至四倍之间。

4. 根据权利要求1或者2所述的一种用于真空镀膜膜厚测试的支架,其特征在于:所述的支架加强板(1)的长边方向设置有若干个通孔,所有的通孔均沿着支架加强板(1)长边对称轴呈“一”字型均匀分布。

5. 根据权利要求1或者2所述的一种用于真空镀膜膜厚测试的支架,其特征在于:所述的样品托板(2)是一个扁平矩形板,在所述的样品托板(2)上设置有若干个样品放置口(3)和若干个螺纹孔。

6. 根据权利要求5所述的一种用于真空镀膜膜厚测试的支架,其特征在于:所述的若干个样品放置口(3)均沿着样品托板(2)长边对称轴呈“一”字型均匀分布。

7. 根据权利要求5所述的一种用于真空镀膜膜厚测试的支架,其特征在于:所述的样品托板(2)上的若干个螺纹孔是以样品托板(2)长边对称轴为中心对称均匀分布在样品托板(2)的两侧边缘,并且与所述的支架加强板(1)上的若干个通孔顺序一一对应。

8. 根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜膜厚测试的支架,其特征在于:所述的样品放置口(3)呈“十”字型,中部是矩形通孔,上下端是矩形沉头槽。

9. 根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜膜厚测试的支架,其特征在于:所述的支架加强板(1)与样品托板(2)采用紧固螺钉(4)紧固连接。

10. 根据权利要求1或者9所述的一种用于真空镀膜膜厚测试的支架,其特征在于:所述的支架加强板(1)、样品托板(2)和紧固螺钉(4)均采用不锈钢制成。

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