[实用新型]真空处理装置的气体混合装置有效
| 申请号： | 201220642548.2 | 申请日： | 2012-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN202917430U | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 周宁;徐朝阳 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/02;B01F3/02 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种真空处理装置的气体混合装置，其横向设置于所述真空处理装置的气体混合管道中，所述气体混合装置包括：一叶轮，呈圆盘形；若干个径向设置在叶轮的圆周部分的叶片，所述叶片的第一端的一部分连接于所述叶轮的圆周，第二端与所述气体混合管道贴合。本实用新型能够促进气体在进入真空处理装置的腔室之前的混合。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 处理 装置 气体 混合 | ||
【主权项】：
一种用于真空处理装置的气体混合装置，其横向设置于所述真空处理装置的气体混合管道中，其特征在于，所述气体混合装置包括：一叶轮，呈圆盘形；若干个径向设置在叶轮的圆周部分的叶片，所述叶片的第一端的一部分连接于所述叶轮的圆周，所述叶片的第二端与所述气体混合管道贴合。
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