[实用新型]一种具有大加热面积的铟炉结构有效
| 申请号： | 201220565909.8 | 申请日： | 2012-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN202898601U | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 单易飞;邬璐磊;陈中林;董春荣 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/10 | 分类号： | C30B31/10;C30B31/12 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种具有大加热面积的铟炉结构，包括：炉腔，包括一圆柱状的炉壁及一固定于该炉壁底部的炉底，所述炉壁内侧具有多个环绕该炉壁的环形凸起，且多个环形凸起之间具有预设间隔；加热线圈，环绕于所述炉壁的外侧；炉盖，固定于所述炉壁顶部，且该炉盖中部具有出气孔。本实用新型具有以下有益效果：于炉壁内侧增加了多个环形凸起，可以有效的增加炉腔的发热面积，从而增加对炉腔内铟材料的加热面积，提高加热效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 加热 面积 结构 | ||
【主权项】：
一种具有大加热面积的铟炉结构，其特征在于，所述铟炉结构至少包括：炉腔，包括一圆柱状的炉壁及一固定于该炉壁底部的炉底，所述炉壁内侧具有多个环绕该炉壁的环形凸起，且多个环形凸起之间具有预设间隔；加热线圈，环绕于所述炉壁的外侧。
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