[实用新型]一种具有大加热面积的铟炉结构有效
| 申请号： | 201220565909.8 | 申请日： | 2012-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN202898601U | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 单易飞;邬璐磊;陈中林;董春荣 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/10 | 分类号： | C30B31/10;C30B31/12 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 加热 面积 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有大加热面积的铟炉结构，其特征在于，所述铟炉结构至少包括：
炉腔，包括一圆柱状的炉壁及一固定于该炉壁底部的炉底，所述炉壁内侧具有多个环绕该炉壁的环形凸起，且多个环形凸起之间具有预设间隔；
加热线圈，环绕于所述炉壁的外侧。
2.根据权利要求1所述的具有大加热面积的铟炉结构，其特征在于：所述炉腔还包括一固定于所述炉壁顶部的炉盖，且该炉盖中部具有出气孔。
3.根据权利要求1所述的具有大加热面积的铟炉结构，其特征在于：所述环形凸起的横截面为矩形截面。
4.根据权利要求3所述的具有大加热面积的铟炉结构，其特征在于：所述矩形截面的长为3~8mm，宽为3~8mm。
5.根据权利要求4所述的具有大加热面积的铟炉结构，其特征在于：所述矩形截面的长为5mm，宽为5mm。
6.根据权利要求1所述的具有大加热面积的铟炉结构，其特征在于：所述预设间隔为3~8mm。
7.根据权利要求6所述的具有大加热面积的铟炉结构，其特征在于：所述预设间隔为5mm。
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