[实用新型]蓝宝石长晶炉真空系统有效
| 申请号： | 201220543459.2 | 申请日： | 2012-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN202913090U | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 赵春山;于民华;郑伟;吴国兴 | 申请（专利权）人： | 江苏双良新能源装备有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 | 代理人： | 唐纫兰;曾丹 |
| 地址： | 214444 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种蓝宝石长晶炉真空系统，它包括真空管道（1），所述真空管道（1）连接于蓝宝石长晶炉炉体上，其特征在于所述真空管道（1）的下端通过分子泵接管（6）连接有复合分子泵（8），所述真空管道（1）与分子泵接管（6）之间设置有旋转式插板阀（4），所述复合分子泵（8）的下端连接有真空出口抽气管道（9），所述真空出口抽气管道（9）上设置有第一电磁阀（2），所述第一电磁阀（2）后方的真空出口抽气管道（9）与真空管道（1）之间连接有抽气旁通管路（3），所述抽气旁通管路（3）上设置有第二电磁阀（5）。本实用新型蓝宝石长晶炉真空系统具有可以保证蓝宝石长晶炉系统稳定运行的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 长晶炉 真空 系统 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石长晶炉真空系统，它包括真空管道（1），所述真空管道（1）连接于蓝宝石长晶炉炉体上，其特征在于所述真空管道（1）的下端通过分子泵接管（6）连接有复合分子泵（8），所述真空管道（1）与分子泵接管（6）之间设置有旋转式插板阀（4），所述复合分子泵（8）的下端连接有真空出口抽气管道（9），所述真空出口抽气管道（9）上设置有第一电磁阀（2），所述第一电磁阀（2）后方的真空出口抽气管道（9）与真空管道（1）之间连接有抽气旁通管路（3），所述抽气旁通管路（3）上设置有第二电磁阀（5）。
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