[实用新型]蓝宝石长晶炉真空系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种蓝宝石长晶炉，尤其涉及一种蓝宝石长晶炉真空系统，属于蓝宝石技术领域。

背景技术

蓝宝石即AL₂O₃单晶体，具有熔点高、硬度高、导热性好、透过光波段宽、电绝缘性好、耐强酸强碱腐蚀等特点，因此作为重要的技术晶体材料，被广泛应用在国防、军事、科研等一系列高科技技术领域，同时在民用工业上也有大量的应用，如发光二极管、微电子电路、光学传感性、光波导器件及LED节能领域。

蓝宝石晶体的生产方法有多种：提拉法（柴氏拉晶法）、泡生法（凯氏长晶法）和温度梯度法等方法。但无论是采用哪一种的生长方法，都需要将长晶炉炉体的空气抽净，达到一定的真空度后，才开始对炉体进行加热，晶体原料在炉内温度达2050℃后开始熔化，等原料完全熔化后，有一个熔料排杂过程，然后才会进行晶体的生长，晶体生长结束后，需逐步进行冷却，直到冷却完全结束。在这一系列过程中，炉体的保温材料、晶体熔液都会排放出大量的杂质和气体，如果不及时排出炉外，会影响晶体的质量，这就需要蓝宝石长晶炉系统中的真空泵通过真空系统将这些杂质和气体排出炉外。真空系统的质量的稳定关系到蓝宝石长晶炉系统的安全运行及生产出的晶体质量。原设计的真空系统中采用的抽拉式插板阀和金属油扩散泵。金属油扩散泵的工作原理是通过底部的加热板对扩散泵内的真空油进行加热，使真空油受热后变成油蒸汽，利用油蒸汽的引射作用将真空管道内的空气分子及杂质排出炉外。常常会出现加热板损坏引起加热中断而导致蓝宝石长晶炉长晶过程的停止，造成很大的损失。同时真空油蒸汽也会污染蓝宝石长晶炉的炉体。这就需要一套安全可靠的真空系统结构，保证整个长晶过程的稳定。

发明内容

本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种保证蓝宝石长晶炉系统稳定运行的蓝宝石长晶炉真空系统。

本实用新型的目的是这样实现的：

一种蓝宝石长晶炉真空系统，它包括真空管道，所述真空管道连接于蓝宝石长晶炉炉体上，所述真空管道的下端通过分子泵接管连接有复合分子泵，所述真空管道与分子泵接管之间设置有旋转式插板阀，所述复合分子泵的下端连接有真空出口抽气管道，所述真空出口抽气管道上设置有第一电磁阀，所述第一电磁阀后方的真空出口抽气管道与真空管道之间连接有抽气旁通管路，所述抽气旁通管路上设置有第二电磁阀。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型由于真空系统中采中复合分子泵，节省了金属油扩散泵的油预热时间，同时避免了由于加热板的损坏而导致的紧急停炉造成损失及蓝宝石长晶炉内的油汽污染。该蓝宝石长晶炉真空系统具有可以保证蓝宝石长晶炉系统稳定运行的优点。

附图说明

图1为本实用新型蓝宝石长晶炉真空系统的结构示意图。

其中：

真空管道1

第一电磁阀2

抽气旁通管路3

旋转式插板阀4

第二电磁阀5

分子泵接管6

复合分子泵8

卡钳螺钉7

真空出口抽气管道9。

具体实施方式

参见图1，本实用新型涉及的一种蓝宝石长晶炉真空系统，它包括真空管道1，所述真空管道1连接于蓝宝石长晶炉炉体上，所述真空管道1的下端通过分子泵接管6连接有复合分子泵8，所述真空管道1与分子泵接管6之间设置有旋转式插板阀4，所述分子泵接管6与复合分子泵8通过卡钳螺钉7固定，所述复合分子泵8的下端连接有真空出口抽气管道9，所述真空出口抽气管道9上设置有第一电磁阀2，所述第一电磁阀2后方的真空出口抽气管道9与真空管道1之间连接有抽气旁通管路3，所述抽气旁通管路3上设置有第二电磁阀5。所述真空管道1上安装各种仪表及接口，所述第二电磁阀7用于打开和关闭抽气旁通管路3，所述抽气旁通管路3用于真空系统运行初期对蓝宝石长晶炉体进行预抽真空，达到一定的真空度后方可开启复合分子泵8，所述旋转式插板阀4用于打开和关闭真空抽气系统，旋转式插板阀4体积小，可以整体放进壳体内，增加整体的美感，所述分子泵接管6固定在旋转式插板阀4与复合分子泵8之间，起接口过渡作用。所述复合分子泵8，用于提高真空泵抽气能力，达到额定工作真空度的要求。所述真空出口抽气管道9，用于连接真空系统与真空泵。