[实用新型]电荷耦合装置支架与导片机有效
| 申请号： | 201220520491.9 | 申请日： | 2012-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN202796884U | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 苏陶炯;闫晓东;严峻;关业群 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种电荷耦合装置支架，用于固定和调节电荷耦合装置，包括一端固定设置于导片机上的竖直杆以及沿水平方向设置的第一旋转件，所述第一旋转件的一端与所述竖直杆旋转连接，所述第一旋转件与所述竖直杆相互垂直且能够绕所述竖直杆转动，还包括沿水平方向设置的第二旋转件，所述第二旋转件的一端与所述第一旋转件的另一端旋转连接，所述调节电荷耦合装置安装于所述第二旋转件上。本实用新型通过在第一旋转件的末端增加了可沿水平方向绕其旋转的第二旋转件，通过二次旋转，使得电荷耦合装置支架的运行位置更灵活，可以有效避开操作臂的运动轨迹，进而提高了电荷耦合装置可采集信号的覆盖范围。 | ||
| 搜索关键词： | 电荷 耦合 装置 支架 导片机 | ||
【主权项】：
一种电荷耦合装置支架，用于固定和调节电荷耦合装置，包括一端固定设置于导片机上的竖直杆以及沿水平方向设置的第一旋转件，所述第一旋转件的一端与所述竖直杆旋转连接，所述第一旋转件与所述竖直杆相互垂直且能够绕所述竖直杆转动，其特征在于：还包括沿水平方向设置的第二旋转件，所述第二旋转件的一端与所述第一旋转件的另一端旋转连接，所述调节电荷耦合装置安装于所述第二旋转件上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
