[实用新型]一种薄片型贵金属靶的加工结构有效
申请号: | 201220462130.3 | 申请日: | 2012-09-11 |
公开(公告)号: | CN203003498U | 公开(公告)日: | 2013-06-19 |
发明(设计)人: | 范亮;王欣平;江轩;尚再艳;熊晓东 | 申请(专利权)人: | 北京有色金属研究总院;有研亿金新材料股份有限公司 |
主分类号: | B23Q3/00 | 分类号: | B23Q3/00;B24B41/06 |
代理公司: | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人: | 史双元 |
地址: | 100088 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了属于薄膜工艺中靶体加工装置范围的一种薄片型贵金属靶的加工结构。该加工结构是在靶材和支撑板之间涂覆一层粘接剂。本实用新型可以方便快捷的固定薄片型贵金属靶材,不会对贵金属的有任何的划伤,挤压变形。同时可以进行常规的机械加工的一种高精度加工装置,使用方便,成本低,材料采购方便,无需任何特殊的卡具,通用性强,可以为贵金属加工节省大量的成本和时间。 | ||
搜索关键词: | 一种 薄片 贵金属 加工 结构 | ||
【主权项】:
一种薄片型贵金属靶的加工结构,其特征在于,在靶材(1)和支撑板(3)之间涂覆一层粘接剂(2)。
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