[实用新型]一种薄片型贵金属靶的加工结构

说明书

技术领域

本实用新型属于薄膜工艺中靶体加工装置范围，特别涉及一种薄片型贵金属靶的加工结构。

技术领域

随着科学技术的发展，薄膜工艺作为制作电子器件常用的方法获得了广泛的应用，在半导体工艺，太阳能，磁记录，液晶显示，光学和装饰等高科技领域得到了大规模的应用。而用于制作薄膜的靶材也得到了长足的发展。其中贵金属靶材的应用十分普遍。贵金属成本高，加工损耗大，金属软，要达到精确的尺寸较为困难，用户往往要求制作的靶材均为薄型结构，以降低其占用的成本。任何一个贵金属加工厂商都想尽可能的减少贵金属的投料数量以期减少贵金属所占用的资金成本，但投料不足却难以产出成品。于此同时要尽可能的避免加工过程中的损耗，贵金属较软，对于较薄的工件，夹持变形往往难以避免，这往往使工件报废；若采用粘接固定的方法可以选用的材料很多。常用的可靠方法为铟焊，即将贵金属和夹持支撑板在铟的熔点以上焊接上，然后再进行机加工。采用金属焊料的方法虽然可以较好的固定住薄金属片和支撑板，但贵金属浸润性良好，焊料很容易和贵金属之间发生扩散，薄片很容易发生合金化从而污染贵金属靶材，且很难脱离掉焊料，即使去掉了焊料，焊料容易划伤焊接面

对于传统的首饰行业的贵金属加工而言，Au，Ag，Pt，Pd或其合金的生产大多采用手工作业的方式来进行机械加工，对于制作长宽在100-400mm，厚度1-10mm的薄片型的贵金属加工，效率很低，精度也几乎很难达到现在工业所需要的要求。而对于采用现在工艺的车，铣，刨，钳，磨等工艺，往往存在较大的机械夹持力，如专利CN200620148447.4。薄型工件常常容易变形，尤其是质软的纯贵金属，普通夹持肯定变形，且残留加持痕迹，对高精度靶材而言，不能达到使用要求。现代机械加工往往通过制作专门的胎具或者夹具来加工容易变形的工件。这需要提前专门为特定形状的工件设计和制作精密的装卡胎具或模具，耗时耗力，成本高，工期长。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有技术中贵金属较软，对于较薄的工件，夹持变形往往难以避免，往往使工件报废的不足，而提出一种薄片型贵金属靶的加工结构，其特征在于，在靶材1和支撑板3之间涂覆一层粘接剂2。

所述靶材为单质贵金属靶材，靶材尺寸在100-400mm。厚度在1-5mm之间，Hv在5-30。

所述靶材为Au，Ag，Pt，Pd或其合金

所述支撑板为采用铁板或镍板等有良好软磁性能的支撑板，其平面度在0.05-0.5之间，表面光洁度在3.2-0.8um，边长为100-400mm，厚度为8-30mm。

所述粘接剂为502胶，

本实用新型的有益效果是所采用的加工结构的材料均为常见的材料，取用方便，成本低。普通铁板用以支撑薄片贵金属，在机加工时可以夹持铁板用以固定。在磨削作业时，可以用磨床的电磁铁吸住铁板从而固定住贵金属靶材对其加工，可以方便快捷的固定薄片型贵金属靶材，在加工过程中不会对贵金属有任何的划伤，挤压变形。

附图说明

图1为薄片型贵金属靶的加工结构示意图。

具体实施方式

本实用新型提出一种薄片型贵金属靶的加工结构。下面结合附图和实施例对本实用新型予以进一步说明。

在图1所示的薄片型贵金属靶的加工结构示意图中，在靶材1和支撑板3之间涂覆一层粘接剂2；该粘接剂采用502胶；因为502胶是以α－氰基丙烯酸乙酯为主，加入增粘剂、稳定剂、增韧剂、阻聚剂等， 通过先进生产工艺合成的单组份瞬间固化粘合剂。其无色透明流动性良好，无毒，不可燃，易挥发，遇水即聚合固化。固化速度快、使用方便、粘接力强、粘接材料广泛，可用于钢铁、有色金属、橡胶、皮革、塑料、陶瓷、玻璃、木材等，广泛用于电器、仪表、机械、电子、光仪、医疗、轻工民用等行业。其粘接剪切强度可达20-30Mp，完全可以满足非剧烈机械加工的要求。黏合剂502胶水用来粘接贵金属和铁板操作简单，方便，强度可以满足加工的要求。当完成粘接以后，可以将支撑板夹持住进行线切割，车加工，磨削加工等常见的机械加工，由于不曾接触到贵金属薄板，因此不会将贵金属表面划伤，也不会将其夹持变形。

当加工完成以后，将贵金属靶材和支撑板一起加热到120-150℃，或将其浸泡在丙酮或异丙醇中超声3-10分钟，靶材和支撑板亦可脱落。502胶水是一种是一种瞬间胶，只要用溶解的有机溶剂就可以，用丙酮或异丙醇擦拭可以快速的将胶水溶解于其中，这样得到的靶材表面光洁，无污染，尺寸精确；这种加工结构对靶材无污染，对靶材没有损伤变形的威胁，可以节省贵金属资源。

实施例