[实用新型]一种薄片型贵金属靶的加工结构有效
申请号: | 201220462130.3 | 申请日: | 2012-09-11 |
公开(公告)号: | CN203003498U | 公开(公告)日: | 2013-06-19 |
发明(设计)人: | 范亮;王欣平;江轩;尚再艳;熊晓东 | 申请(专利权)人: | 北京有色金属研究总院;有研亿金新材料股份有限公司 |
主分类号: | B23Q3/00 | 分类号: | B23Q3/00;B24B41/06 |
代理公司: | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人: | 史双元 |
地址: | 100088 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 薄片 贵金属 加工 结构 | ||
1.一种薄片型贵金属靶的加工结构,其特征在于,在靶材(1)和支撑板(3)之间涂覆一层粘接剂(2)。
2.根据权利要求1所述一种薄片型贵金属靶的加工结构,其特征在于,所述靶材为单质贵金属靶材,靶材尺寸在100-400mm,厚度在1-5mm之间,Hv在5-30。
3.根据权利要求1所述一种薄片型贵金属靶的加工结构,其特征在于,所述靶材为Au,Ag,Pt,Pd或其合金。
4.根据权利要求1所述一种薄片型贵金属靶的加工结构,其特征在于,所述支撑板为采用具有良好软磁性能的铁板或镍板,其平面度在0.05-0.5之间,表面光洁度在3.2-0.8um,边长为100-400mm,厚度为8-30mm。
5.根据权利要求1所述一种薄片型贵金属靶的加工结构,其特征在于,所述粘接剂为502胶。
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