[实用新型]一种单晶硅加热防尘装置有效
| 申请号： | 201220327240.9 | 申请日： | 2012-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN202658272U | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 林游辉 | 申请（专利权）人： | 合肥景坤新能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B35/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230001 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单晶硅加热防尘装置，包括坩埚轴、托盘、法兰、磁流体、压板和多层保温板，所述坩埚轴顶部设有托盘，所述托盘下方设有法兰，所述法兰下方设有磁流体，包裹在坩埚轴外部，所述磁流体下方设有压板，所述压板下方设有多层保温板。该防尘装置的构思独特，结构简单，该装置的整体性结构，既方便快捷，有增强了其周密性，大大提高了生产效率，延长设备的使用寿命，避免了浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 加热 防尘 装置 | ||
【主权项】：
一种单晶硅加热防尘装置，包括坩埚轴、托盘、法兰、磁流体、压板和多层保温板，其特征在于：所述坩埚轴顶部设有托盘，所述托盘下方设有法兰，所述法兰下方设有磁流体，包裹在坩埚轴外部，所述磁流体下方设有压板，所述压板下方设有多层保温板。
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