[实用新型]一种晶硅太阳能电池镀膜用硅片承载装置有效
申请号: | 201220323271.7 | 申请日: | 2012-07-05 |
公开(公告)号: | CN202796885U | 公开(公告)日: | 2013-03-13 |
发明(设计)人: | 范维涛;勾宪芳;高冠宇;陈呈;姜利凯;王鹏 | 申请(专利权)人: | 中节能太阳能科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;C23C16/458 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 缪友菊 |
地址: | 100041 北京市石景*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种晶硅太阳能电池镀膜用硅片承载装置,它包括长方形石墨框和螺丝承载圆盘;螺丝承载圆盘包括圆柱形连接柱和连接于连接柱一端的承载盘,连接柱圆周外表面设有螺纹,承载盘为圆台形状且圆台较大底面位于螺丝承载圆盘外侧;石墨框内设有矩形阵列分布的正方形硅片仓,每排与每列正方形硅片仓两侧的石墨框上均设有对称分布的连接孔,螺丝承载圆盘通过连接孔装配于石墨框下侧,螺丝承载圆盘下端面位于同一平面并且高度可以调节。本实用新型通过设置圆台形螺丝承载圆盘,使承载盘与硅片边缘形成点接触,不会形成镀膜不良区域,有效的解决了挂钩点问题,提升成膜质量;并且通过设置活动连接的螺丝承载圆盘,可以调整硅片高低位,有效解决了反面镀膜问题,方便维护清理,可循环利用,节约成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 镀膜 硅片 承载 装置 | ||
【主权项】:
一种晶硅太阳能电池镀膜用硅片承载装置,包括长方形石墨框(1)和螺丝承载圆盘(2),其特征在于:所述螺丝承载圆盘(2)包括圆柱形连接柱(21)和连接于所述连接柱(21)一端的承载盘(22),所述连接柱(21)圆周外表面设有螺纹,所述承载盘(22)为圆台形状且圆台较大底面位于螺丝承载圆盘(2)外侧,所述承载盘(22)圆台母线与轴线的夹角为20°~70°,所述石墨框(1)内设有矩形阵列分布的正方形硅片仓(12),所述硅片仓(12)尺寸与待加工硅片(3)尺寸相同,所述正方形硅片仓(12)四周的石墨框上均设有对称分布的连接孔(11),所述连接孔(11)内壁设有与所述连接柱(21)配合使用的螺纹,所述螺丝承载圆盘(2)通过所述连接孔(11)装配于所述石墨框(1)下侧,所述螺丝承载圆盘(2)下端面位于同一平面并且高度可以调节。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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