[实用新型]真空腔室电极引出装置

摘要

本实用新型提供一种真空腔室电极引出装置，包括引出装置底座、内部电极以及电极固定锁紧帽，底座密封连接于真空腔室的腔室底板的外侧面，内设通孔，通孔中形成有一个台肩；内部电极的两端之间形成有一个上凸肩与一个下凸肩，其腔室引出端从所述底座的通孔中不接触地通过，在所述上凸肩与所述台肩之间夹设有第一O型密封圈；所述锁紧帽固定在底座上，其具有一个伸入所述通孔中的限位管，并在所述限位管端部与所述下凸肩之间夹设有第二O型密封圈，所述内部电极的外部引出端从所述限位管中不接触地通过。本实用新型置于真空腔室外，能够避免本实用新型受到腔室内高温的影响；通过采用双密封圈结构代替原金属密封及绝缘结构，节约了结构成本和维护成本。

主权项

一种真空腔室电极引出装置，其包括引出装置底座、内部电极以及电极固定锁紧帽，所述真空腔室具有腔室底板，其特征在于：所述引出装置底座密封连接于所述腔室底板的外侧面，所述引出装置底座内设有通孔，所述通孔中形成有一个台肩；所述内部电极的一端为腔室引出端，另一端为外部引出端，两端之间形成有一个上凸肩与一个下凸肩，所述内部电极的腔室引出端从所述引出装置底座的通孔中不接触地通过并伸入所述真空腔室内部，在所述上凸肩与所述台肩之间夹设有第一O型密封圈；所述电极固定锁紧帽固定在所述引出装置底座上，其具有一个伸入所述引出装置底座的通孔中的限位管，并在所述限位管伸入所述通孔的一端端部与所述下凸肩之间夹设有第二O型密封圈，所述内部电极的外部引出端从所述限位管的内孔中不接触地通过并伸出至所述电极固定锁紧帽外部。