[实用新型]真空腔室电极引出装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及平板显示（TFT-LCD和AMOLED）、半导体、太阳能等行业，特别涉及一种高真空环境下的将加热器电极从真空腔室中引出的结构，也可适用于将真空腔室中其他电器的电源引出。

背景技术

真空设备腔室内的加热系统，需要通过特殊结构的电极引出装置才能将电源线引出到腔室外，此结构既要保证真空密封效果，又要保证电缆线与金属腔室的绝缘。另外，加热器是易耗品，需要定期更换。通常的电极引出装置采用加热器端口特殊结构设计，既要保证与引出装置端金属密封，又要保证加热器内部的绝缘处理。

如图1、图1A所示，是现有的电极引出装置，底座11从腔室底板9外部插入真空腔室8并凭借外端凸肩限定插入深度，底座11与腔室底板9之间用密封圈10予以密封，所述底座11内端端面处加工有密封面6，一个加工有相对密封面4的密封固定块3盖在所述密封面6上，并在所述密封面6与所述相对密封面4之间夹设有金属垫片5，一个锁紧帽2通过螺纹副与所述底座11插入真空腔室8的一端连接，并将所述密封固定块3紧密压合在所述底座11的内端端面上，从而保证密封固定块3与底座11之间形成良好的密封效果；同时，一根加热器1由外至内依次穿过所述底座11、密封固定块3以及锁紧帽2并伸入所述真空腔室8，以供与真空腔室8的加热系统相连，所述加热器1的外部引出端12则可供外部电源相连，实现真空设备的腔室内外的电力连接。为了避免所述加热器1与密封固定块3之间发生电接触，还需要在加热器1与密封固定块3之间填充足够的绝缘材料7。

虽然现有的电极引出装置能够实现高温、高真空环境下的导电与密封，但在实际使用过程中仍存在一些不足：

首先，如图1A所示，所述密封固定块3与加热器1一般经过特殊设计而成为一体，而加热器1为易耗品，每次更换加热器1，都需要同时更换密封固定块3，而且也需要在新的密封固定块3上加工相对密封面4，导致维护成本高。

而且，所述密封面6与相对密封面4均需要抛光处理才能保证真空密封效果，加工难度高；在拆卸时，所述密封面6与相对密封面4又经常由于碰撞而损坏，导致真空密封效果很难保证，如密封面6碰坏则底座11需要更换，维护保养时经常遇到此问题；金属垫片5只能一次性使用，更换成本也较高。

此外，安装时密封面6与相对密封面4配合精度要求较高，安装和拆卸极不方便；而且每次更换加热器1时，需要将加热器1、锁紧帽2、密封固定块3同时从底座11中拔出，极不方便。

发明内容

针对现有技术的不足，本实用新型的目的在于：提供一种真空腔室电极引出装置，应用于所有高真空环境下腔室需要加热的设备，解决加热系统电源线引出时真空密封和绝缘的问题。

为实现上述目的，本实用新型采用的一种真空腔室电极引出装置，其包括引出装置底座、内部电极以及电极固定锁紧帽，所述真空腔室具有腔室底板，其特征在于：

所述引出装置底座密封连接于所述腔室底板的外侧面，所述引出装置底座内设有通孔，所述通孔中形成有一个台肩；

所述内部电极的一端为腔室引出端，另一端为外部引出端，两端之间形成有一个上凸肩与一个下凸肩，所述内部电极的腔室引出端从所述引出装置底座的通孔中不接触地通过并伸入所述真空腔室内部，在所述上凸肩与所述台肩之间夹设有第一O型密封圈；

所述电极固定锁紧帽固定在所述引出装置底座上，其具有一个伸入所述引出装置底座的通孔中的限位管，并在所述限位管伸入所述通孔的一端端部与所述下凸肩之间夹设有第二O型密封圈，所述内部电极的外部引出端从所述限位管的内孔中不接触地通过并伸出至所述电极固定锁紧帽外部。

在较佳的技术方案中，还在所述引出装置底座与所述腔室底板之间夹设有端面O型密封圈。

在较佳的技术方案中，所述腔室底板上开设有一个中心孔与数个环绕所述中心孔设置的固定孔；所述引出装置底座对应于所述数个固定孔设有数个座孔，数个紧固元件将所述数个固定孔与数个座孔一一对应连接，使所述中心孔与所述通孔相连通。

在较佳的技术方案中，所述引出装置底座与所述腔室底板相接的一端沿径向延伸有固定裙边，所述数个座孔均设置在所述固定裙边上，所述端面O型密封圈夹设于所述固定裙边与所述腔室底板之间。

在较佳的技术方案中，所述引出装置底座内的通孔呈阶梯状，所述通孔包括直径较小的电极引出端通过孔与直径较大的电极凸肩通过孔，所述电极引出端通过孔与电极凸肩通过孔之间形成有所述台肩。

在较佳的技术方案中，所述台肩作圆角处理。