[实用新型]硅板舟有效
| 申请号： | 201220259604.4 | 申请日： | 2012-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN202585369U | 公开（公告）日： | 2012-12-05 |
| 发明（设计）人： | 汪良恩;王毅;喻慧丹 | 申请（专利权）人： | 扬州杰利半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 225008 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 硅板舟。涉及对硅板舟的改进。提供了一种能够保证硅片在进出炉时不歪斜、有效地固定硅片位置的硅板舟。包括设有插孔的板状舟体和用于固定硅片的插棒，所述插棒四只一组构成限位单元，所述限位单元是：所述插棒按正方形四角位置固定连接在所述板状舟体上，所述处于对角的两插棒内侧之间的距离等于所述硅片的直径。本实用新型在原来扩散板舟的基础上对插棒位置进行调整，避免了之前采用共用插棒的硅板舟，每叠硅片均采用一个限位单元来固定，使得每叠硅片都能很好地固定，在扩散过程中能够均匀地受热，使得杂质能够均匀扩散，确保产品质量的一致性；插孔和插棒采用锥形连接，保证了连接的可靠性。本实用新型结构简单，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 硅板舟 | ||
【主权项】：
硅板舟，包括设有插孔的板状舟体和用于固定硅片的插棒，其特征在于，所述插棒四只一组构成限位单元，所述限位单元是：所述插棒按正方形四角位置固定连接在所述板状舟体上，所述处于对角的两插棒内侧之间的距离等于所述硅片的直径。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
