[实用新型]硅板舟

说明书

技术领域

本实用新型涉及对硅板舟的改进。

背景技术

在制造二极管的过程中，杂质的扩散需要在1200℃以上的高温下进行，对于承载硅片的治具要求相对较高，能够耐高温且不易变形；目前使用的叠扩硅板舟能够耐高温，但板舟上的硅片扩散不均匀且容易出现倾斜的情况，因此对于扩散治具的改善，保证硅片扩散质量具有很重要的意义。现有技术中使用的硅板舟如图3所示，相邻硅片3共用一组共用插棒21，存在的问题是，如果共用插棒21位置设置不准确，会导致相邻硅片3会相互交叠，影响加工质量。并且共用插棒21在使用过程中由于两边均有偏载力，容易松动导致损坏，使得硅片倾斜，达不到理想的加工效果。

实用新型内容

本实用新型针对以上问题，提供了一种能够保证硅片在进出炉时不歪斜、有效地固定硅片位置的硅板舟。

    本实用新型的技术方案是：包括设有插孔的板状舟体和用于固定硅片的插棒，所述插棒四只一组构成限位单元，所述限位单元是：所述插棒按正方形四角位置固定连接在所述板状舟体上，所述处于对角的两插棒内侧之间的距离等于所述硅片的直径。

所述插棒底部呈锥形头；所述插棒的锥形头与所述插孔连接。

在所述板状舟体上设有至少两个所述限位单元。

本实用新型在原来扩散板舟的基础上对插棒位置进行调整，避免了之前采用共用插棒的硅板舟，每叠硅片均采用一个限位单元（即四根插棒）来固定，使得每叠硅片都能很好地固定，在扩散过程中能够均匀地受热，使得杂质能够均匀扩散，确保产品质量的一致性；插孔和插棒采用锥形连接，保证了连接的可靠性。本实用新型结构简单、便于加工，提高了生产效率。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图，

图2是图1的前视图，

图3是现有技术的结构示意图；

图中1是舟体，2是插棒，20是锥形头，21是共用插棒，3是硅片。

具体实施方式

    本实用新型如图1-2所示，包括设有插孔的板状舟体1和用于固定硅片3的插棒2，所述插棒2四只一组构成限位单元，所述限位单元是：所述插棒2按正方形四角位置固定连接在所述板状舟体1上，所述处于对角的两插棒2内侧之间的距离等于所述硅片3的直径。

所述插棒2底部呈锥形头20；所述插棒2的锥形头20与所述插孔连接。

在所述板状舟体1上设有至少两个所述限位单元。