[实用新型]一种基板传送装置及真空传送设备

摘要

本实用新型公开了一种真空传送设备的基板传送装置，包括：机械臂滑轨；机械臂，可滑动地安装于机械臂滑轨，且机械臂的滑动方向与机械臂滑轨的延伸方向平行；承载板，可滑动地安装于机械臂，且承载板的滑动方向与机械臂滑轨的延伸方向平行；驱动机械臂以及承载板滑动的驱动系统。基板从基板装载位置传送至基板卸载位置的过程中始终位于承载板，且承载板只在机械臂上进行滑动，机械臂只在机械臂滑轨上进行滑动，不需要中间辅助设备，机械臂与机械臂滑轨之间以及机械臂与承载板之间的滑动配合的连接关系稳定，在运行时不会对基板造成冲击，不会对基板造成损伤。本实用新型提供的基板传送装置在传送基板时稳定可靠，不会对基板造成损伤。

主权项

一种真空传送设备的基板传送装置，其特征在于，包括：机械臂滑轨；机械臂，可滑动地安装于所述机械臂滑轨上，且所述机械臂的滑动方向与所述机械臂滑轨的延伸方向平行；承载板，可滑动地安装于所述机械臂上，且所述承载板的滑动方向与机械臂滑轨的延伸方向平行；驱动系统，用于驱动所述机械臂和承载板滑动。