[实用新型]一种石墨基座有效
| 申请号： | 201220177112.0 | 申请日： | 2012-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN202576645U | 公开（公告）日： | 2012-12-05 |
| 发明（设计）人： | 童科峰;田达晰;王震;占传奇;陈华 | 申请（专利权）人： | 浙江金瑞泓科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所 31233 | 代理人： | 宋缨;孙健 |
| 地址： | 315800 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种石墨基座，包括底座(1)，所述底座(1)上设置有安装位(2)，所述安装位(2)内安装有可拆卸的石英圆环(3)，所述石英圆环(3)的外圈与所述安装位(2)的内圈紧密贴合。本实用新型是在传统的6寸石墨基座的每一个安装位内放上一个可拆卸的石英圆环，使石英圆环的外圈紧贴安装位的外圈。这样就可保证6寸的石墨基座可以生产两种尺寸的外延片。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 基座 | ||
【主权项】：
一种石墨基座，包括底座(1)，所述底座(1)上设置有安装位(2)，其特征在于，所述安装位(2)内安装有可拆卸的石英圆环(3)，所述石英圆环(3)的外圈与所述安装位(2)的内圈紧密贴合。
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