[实用新型]气体喷洒模块

摘要

一种气体喷洒模块，包括喷洒头主体、供气板、气体分布板以及气体喷洒板。喷洒头主体具有气体喷洒面和与其相对的进气面。供气板设于进气面，具有至少一第一气孔。气体分布板设于气体喷洒面与进气面之间的喷洒头主体内，具有多个第二气孔。气体喷洒板设于气体喷洒面，具有多个第三气孔。供气板与气体分布板的间距、气体分布板与气体喷洒板的间距介于7-9mm。第一气孔与第二气孔数量之比例、第二气孔与第三气孔数量的比例介于1∶4-1∶100。第二气孔的数量介于900个-1050个。第二气孔是沿气体分布板的表面上的两垂直方向呈45度角对称分布。

主权项

气体喷洒模块，其特征在于，包括：一喷洒头主体，具有一气体喷洒面与相对该气体喷洒面的一进气面；一供气板，设于该喷洒头主体的该进气面，其中该供气板具有至少一第一气孔；一气体分布板，设于该气体喷洒面与该进气面之间的该喷洒头主体内，其中该气体分布板具有多个第二气孔；以及一气体喷洒板，设于该喷洒头主体的该气体喷洒面，其中该气体喷洒板具有多个第三气孔，使一气体经由该供气板的该第一气孔流入该喷洒头主体内，并经该气体分布板的所述第二气孔扩散至该气体喷洒板，再自所述第三气孔喷出，该供气板与该气体分布板的间距在7mm‑9mm之间，该气体分布板与该气体喷洒板的间距在7mm‑9mm之间，该第一气孔的数量与所述第二气孔的数量的比例在1∶4‑1∶100之间，所述第二气孔的数量与所述第三气孔的数量的比例在1∶4‑1∶100之间，所述第二气孔的数量在900个‑1050个之间，所述第二气孔是沿该气体分布板的表面上的两垂直方向呈45度角对称分布。