[实用新型]气体喷洒模块

说明书

技术领域

本实用新型是有关于一种气体喷洒模块，且特别是有关于一种具有气体分布板，能使气体更均匀地喷出的气体喷洒模块。

背景技术

随着镀膜工艺的发展，在化学气相沉积的反应过程中，如何将气体均匀地喷洒到腔室中便成为重要的问题。对此，气体喷洒模块(gas shower module)，特别是气体喷洒头(gas showerhead)扮演了重要的角色。

针对气体喷洒模块或气体喷洒头的设计与结构，已经有多种专利提出。美国专利US 7138336B2与美国专利US 7641939B2采用喷洒头进气、腔室侧边抽气的方式控制气体进出。美国专利US 6921437揭露一种可预先混合先驱气体的气体分布模块，但不适用于先驱气体不可预先混合的工艺。美国专利US 6478872揭露一种将气体输送至腔室的方法，以及用于输送气体的喷洒头。然而该设计的构造复杂，且制造成本昂贵。

实用新型内容

本实用新型提供一种气体喷洒模块，相较于已知的气体喷洒模块可更均匀地喷洒气体。

本实用新型提出一种气体喷洒模块，包括喷洒头主体、供气板、气体分布板以及气体喷洒板。喷洒头主体具有气体喷洒面与相对气体喷洒面的进气面。供气板设于喷洒头主体的进气面，其中供气板具有至少一第一气孔。气体分布板设于气体喷洒面与进气面之间的喷洒头主体内，其中气体分布板具有多个第二气孔。气体喷洒板设于喷洒头主体的气体喷洒面，其中气体喷洒板具有多个第三气孔，使一气体经由供气板的第一气孔流入喷洒头主体内，并经气体分布板的第二气孔扩散至气体喷洒板，再自第三气孔喷出。供气板与气体分布板的间距在7mm-9mm之间。气体分布板与气体喷洒板的间距在7mm-9mm之间。第一气孔的数量与第二气孔的数量的比例在1∶4-1∶100之间。第二气孔的数量与第三气孔的数量的比例在1∶4-1∶100之间。第二气孔的数量在900个-1050个之间。第二气孔是沿气体分布板的表面上的两垂直方向呈45度角对称分布。

在本实用新型的一实施例中，上述的第一气孔与第二气孔非相对设置。

在本实用新型的一实施例中，上述的第二气孔与第三气孔非相对设置。

在本实用新型的一实施例中，上述的供气板与气体分布板互相平行。

在本实用新型的一实施例中，上述的气体分布板与气体喷洒板互相平行。

在本实用新型的一实施例中，上述的第一气孔的直径在1.5mm-9mm之间。

在本实用新型的一实施例中，上述的第二气孔的直径在1.5mm-9mm之间。

在本实用新型的一实施例中，上述的第三气孔的直径在1.5mm-9mm之间。

本实用新型的有益效果是：相较于已知的气体喷洒模块可更均匀地喷洒气体。

附图说明

为让本实用新型的上述特征能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下，其中：

图1是依照本实用新型一实施例所绘示的气体喷洒模块示意图。

图2A是依照本实用新型一实施例所绘示的进气板俯视图。

图2B是依照本实用新型一实施例所绘示的气体分布板俯视图。

图2C是依照本实用新型一实施例所绘示的气体喷洒板俯视图。

图3A是依照本实用新型另一实施例所绘示的进气板俯视图。

图3B是依照本实用新型另一实施例所绘示的气体分布板俯视图。

图3C是依照本实用新型另一实施例所绘示的气体喷洒板俯视图。

具体实施方式

图1是依照本实用新型一实施例所绘示的气体喷洒模块的示意图。请参照图1。气体喷洒模块100包括喷洒头主体102、供气板104、气体分布板106以及气体喷洒板108。喷洒头主体102具有气体喷洒面102a以及相对气体喷洒面102a的进气面102b。供气板104设置于进气面102b，其中供气板104具有第一气孔104a。气体分布板106设置于喷洒头主体102内位于气体喷洒面102a与进气面102b之间，其中气体分布板106具有多个第二气孔106a。气体喷洒板108设置于气体喷洒面102a，其中气体喷洒板108具有多个第三气孔108a。