[实用新型]一种用于MO源灌装容器的处理装置

摘要

本实用新型公开了一种用于MO源灌装容器的处理装置，包括容器处理平台、清洗系统和干燥系统；所述容器处理平台上设有至少1对与MO源灌装容器配合的连接头，各对连接头之间连接有MO源灌装容器，各对连接头的另一端通过转换器分别与所述清洗系统和干燥系统连通，分别构成第一连通的密闭系统和第二连通的密闭系统。本实用新型的处理装置可以将清洗、加热、换气、检漏、环境分析操作一体化完成，从而不仅大大减少了操作过程中的污染几率，提高了高纯MO源储存环境，而且缩减了清洗时间、抽烘和气体置换时间，大大提高了处理效率，取得了良好的效果。

主权项

一种用于MO源灌装容器的处理装置，其特征在于：包括容器处理平台(9)、清洗系统和干燥系统；所述容器处理平台上设有至少1对与MO源灌装容器配合的连接头，各对连接头之间连接有MO源灌装容器(10)，各对连接头的另一端通过转换器分别与所述清洗系统和干燥系统连通，分别构成第一连通的密闭系统和第二连通的密闭系统；所述清洗系统包括水泵(7)、水源接收罐(8)、清洗水源(11)；所述水泵和水源接收罐连通，水源接收罐通过第一清洗管路(61)与所述各对连接头中的一个连通，各对连接头中的另一个通过第二清洗管路(62)与清洗水源连通，构成所述第一连通的密闭系统；所述第一清洗管路和第二清洗管路上均设有阀门；所述干燥系统包括真空泵(1)、干燥缓冲装置(2)、检测器(3)、检漏仪(4)、气源(5)；所述真空泵和干燥缓冲装置连通，干燥缓冲装置通过第一干燥管路(121)与所述各对连接头中的一个连通，各对连接头中的另一个通过第二干燥管路(122)与气源连通，构成所述第二连通的密闭系统；所述第二干燥管路上设有阀门，阀门上设有所述检漏仪。