[实用新型]一种微小物体表面积精密测量装置

摘要

一种微小物体表面积精密测量装置,属于利用光学手段进行测量和分析的技术领域；该装置包括图像式位移测量系统、图像式自动调焦瞄准系统，并在被测物上方配置环形光源，在导轨方向配置测量角锥棱镜、分光镜与参考镜以及双频激光器；采用本实用新型测量微小物体表面积，可以连续测量多个微小物体表面积，并且测量结果快速准确。

主权项

一种微小物体表面积精密测量装置，其特征在于包括图像式位移测量系统、图像式自动调焦瞄准系统；所述图像式位移测量系统包括能够随工作台（6）在导轨（7）上运动的光学标尺（1），以及在光学标尺（1）上方，保持静止状态的纵向读数CCD（2）和横向读数CCD（3），纵向读数CCD（2）和横向读数CCD（3）感光面垂直于光轴，对光学标尺（1）准焦成像，得到的图像数据经接口电路（16）输送到计算机（17）进行处理；还包括配置在工作台表面与导轨方向一致的测量角锥棱镜（8）、分光镜与参考镜（9）以及双频激光器（10），双频激光器（10）发射的光束经分光镜与参考镜（9）入射到测量角锥棱镜（8）后返回；所述图像式自动调焦瞄准系统包括瞄准CCD（4）、配置在瞄准CCD（4）下方、被测物（5）上方的环形光源（11），瞄准CCD同配置在其前方的成像光学系统相对静止，并一起沿图像式自动调焦瞄准系统光轴方向移动，使瞄准CCD（4）准焦接收来与导轨（7）方向平行放置的自被测物（5）表面的反射光线。