[实用新型]光纤微传感表面形貌和粗糙度测量装置有效
| 申请号： | 201220061119.6 | 申请日： | 2012-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN202533048U | 公开（公告）日： | 2012-11-14 |
| 发明（设计）人： | 蒋奇;张帅帅;杨猛;卢丽胜 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/30 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 王吉勇 |
| 地址： | 250061 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光纤微传感表面形貌和粗糙度测量装置，包括一立柱，所述立柱上套有一个水平设置的能够上下移动的工作台，所述工作台上设有若干孔，每个孔中均设有一个能上下微调的伸出杆及弹性细触针，所述弹性细触针设置于伸出杆的下端，所述弹性细触针表面上刻槽敷设有光纤布拉格光栅，光纤布拉格光栅通过光纤与光纤光栅解调器相连，光纤光栅解调器通过线路与数据处理装置相连。光纤光栅检测微位移精确度、灵敏度高，触针径细可检查工件内部的粗糙度，可多个触针排列，作线扫描，形成面粗糙度和形貌度，经计算机进一步处理，可得到工件表面形貌度图像，效率高，仪器结构简单，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 纤微 传感 表面 形貌 粗糙 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种光纤微传感表面形貌和粗糙度测量装置，其特征是，包括一立柱，所述立柱上套有一个水平设置的能够上下移动的工作台，所述工作台上设有若干孔，每个孔中均设有一个能上下微调的伸出杆及弹性细触针，所述弹性细触针设置于伸出杆的下端，所述弹性细触针表面上刻槽敷设有光纤布拉格光栅，光纤布拉格光栅通过光纤与光纤光栅解调器相连，光纤光栅解调器通过线路与数据处理装置相连。
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