[实用新型]光纤微传感表面形貌和粗糙度测量装置

权利要求书

1.一种光纤微传感表面形貌和粗糙度测量装置，其特征是，包括一立柱，所述立柱上套有一个水平设置的能够上下移动的工作台，所述工作台上设有若干孔，每个孔中均设有一个能上下微调的伸出杆及弹性细触针，所述弹性细触针设置于伸出杆的下端，所述弹性细触针表面上刻槽敷设有光纤布拉格光栅，光纤布拉格光栅通过光纤与光纤光栅解调器相连，光纤光栅解调器通过线路与数据处理装置相连。

2.如权利要求1所述的光纤微传感表面形貌和粗糙度测量装置，其特征是，所述立柱上套有精密滚轴丝杠，工作台通过螺丝套在精密滚珠丝杠上。

3.如权利要求1所述的光纤微传感表面形貌和粗糙度测量装置，其特征是，所述伸出杆通过微调机构设置于工作台的孔中。

4.如权利要求3所述的光纤微传感表面形貌和粗糙度测量装置，其特征是，所述伸出杆下端焊接弹性细触针。

5.如权利要求1所述的光纤微传感表面形貌和粗糙度测量装置，其特征是，所述工作台下面是放置工件的移动导轨工作台。