[实用新型]裸片拾取装置有效
| 申请号： | 201220050767.1 | 申请日： | 2012-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN202558261U | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | 岩城范明;滨根刚 | 申请（专利权）人： | 富士机械制造株式会社 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 高培培;车文 |
| 地址： | 日本爱知*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种拾取粘贴到切割片上的裸片的裸片拾取装置，使每个裸片的片剥离所需的时间变短，缩短节拍时间。剥离台(18)的片吸引孔(40)以跨过该多个裸片(21)的粘贴部分的方式形成以能够同时吸引多个裸片(21)的粘贴部分。在吸附嘴(30)的下端部设置垫部(30a)，该垫部(30a)的尺寸与同时拾取的多个裸片(21)的总尺寸基本相同或比其略小。通过吸附嘴(30)的垫部(30a)吸附保持切割片上的多个裸片(21)，同时使剥离台(18)从该多个裸片(21)的粘贴部分的近前侧向该多个裸片(21)的粘贴部分的正下方滑动，从而通过片吸引孔(40)对该多个裸片(21)的粘贴部分逐渐进行片剥离后，通过吸附嘴(30)同时拾取多个裸片(21)。 | ||
| 搜索关键词： | 拾取 装置 | ||
【主权项】：
裸片拾取装置，具有：吸附嘴，拾取切割片上的裸片，该切割片上粘贴了将晶圆切割为棋盘格状而形成的多个裸片；剥离台，从上述切割片的下表面侧吸引要通过上述吸附嘴拾取的裸片的粘贴部分，而对该裸片的粘贴部分进行片剥离，上述剥离台具有吸引上述切割片的片吸引孔，通过上述吸附嘴吸附保持上述切割片上的裸片，且使上述剥离台从该裸片的粘贴部分的近前侧滑动至该裸片的粘贴部分的正下方，从而通过上述片吸引孔对该裸片的粘贴部分逐渐进行片剥离，其特征在于，上述吸附嘴构成为能够同时拾取多个裸片，上述剥离台的片吸引孔形成为，通过上述吸附嘴同时吸附保持上述多个裸片，且同时对该多个裸片的粘贴部分进行片剥离。
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