[实用新型]裸片拾取装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种裸片拾取装置，其在通过吸附嘴拾取粘贴到切割片上的裸片时，对通过吸附嘴拾取的裸片的粘贴部分从切割片的下表面侧吸引并将该裸片的粘贴部分进行片剥离。

背景技术

在剥离粘贴到切割片上的裸片的方式中，包括顶起剥离方式和滑动剥离方式。在顶起剥离方式中，如专利文献1(日本特开2010-129949号公报)所述，用吸附嘴对从粘贴了切割为棋盘格状的晶圆且能够伸缩的切割片上的晶圆分割出的裸片进行吸附并拾取时，对切割片中的要吸附的裸片的粘贴部分从其正下方用顶起瓶顶起，将该裸片的粘贴部分从切割片部分剥离的同时，用吸附嘴吸附该裸片，从切割片拾取。

但是，当裸片较薄易破裂时，在上述顶起剥离方式中，裸片可能破裂，因此使用滑动剥离方式。在滑动剥离方式中，如专利文献2(日本特许第3209736号公报)所述，具有拾取粘贴了多个裸片的切割片上的裸片的吸附嘴(筒)及具有片吸引孔的剥离台，通过吸附嘴吸附保持切割片上的裸片的同时，使剥离台的片吸引孔从该裸片的粘贴部分的近前侧向该裸片的粘贴部分的正下方滑动，从而对该裸片的粘贴部分逐渐进行片剥离。

专利文献1：日本特开2010-129949号公报

专利文献2：日本特许3209736号公报

实用新型内容

为了缩短拾取装置的节拍时间，加快片剥离速度并缩短片剥离所需的时间较为有效，但在上述专利文献2所述的滑动剥离方式中，因对较薄易破裂的裸片进行片剥离，所以加快剥离台的滑动速度时，较薄的裸片可能破裂，或片剥离可能失败。为防止该片剥离的失败，增大吸引力即可，但增大吸引力时，较薄的裸片变得易破裂，所以无法增大吸引力。因此存在以下缺点：无法加快剥离台的滑动速度，每个裸片的片剥离所需的时间变长，裸片拾取装置的节拍时间变长。

因此，本实用新型要解决的课题是，提供一种能够使每个裸片的片剥离所需的时间变短并缩短节拍时间的裸片拾取装置。

为解决上述课题，技术方案1涉及的实用新型是一种裸片拾取装置，具有：吸附嘴，拾取切割片上的裸片，该切割片上粘贴了将晶圆切割为棋盘格状而形成的多个裸片；剥离台，从上述切割片的下表面侧吸引要通过上述吸附嘴拾取的裸片的粘贴部分，而对该裸片的粘贴部分进行片剥离，上述剥离台具有吸引上述切割片的片吸引孔，通过上述吸附嘴吸附保持上述切割片上的裸片，且使上述剥离台从该裸片的粘贴部分的近前侧滑动至该裸片的粘贴部分的正下方，从而通过上述片吸引孔对该裸片的粘贴部分逐渐进行片剥离，其特征在于，上述吸附嘴构成为能够同时拾取多个裸片，上述剥离台的片吸引孔形成为，通过上述吸附嘴同时吸附保持上述多个裸片，且同时对该多个裸片的粘贴部分进行片剥离。

在该构成中，可将切割片上的多个裸片的粘贴部分同时进行片剥离，因此可大幅缩短每个裸片的片剥离所需的时间，可缩短裸片拾取装置的节拍时间。

该情况下，如技术方案2所述，其构成也可以是，吸附嘴具有对于能够同时拾取的多个裸片按照每个裸片分别独立地切换吸附/不吸附的单元。这样一来，例如在拾取动作时如果在能够通过吸附嘴同时拾取的多个裸片中存在问题裸片(不良裸片)，则可将该问题裸片的吸附切换为不吸附，从而将问题裸片残留在切割片上，问题裸片的回收较容易。

并且，如技术方案3所述，其构成也可以是，剥离台具有对于能够通过吸附嘴同时拾取的多个裸片的粘贴部分按照每个裸片分别独立地切换吸引/不吸引的单元。这样一来，例如如果在能够同时进行片剥离的多个裸片中存在问题裸片，则可将该问题裸片的粘贴部分的吸引切换为不吸引，使问题裸片直接在粘贴的状态下残留于切割片，问题裸片的回收较容易。

并且，如技术方案4所述，其构成也可以是，吸附嘴构成为能够在同时拾取了多个裸片的状态下上下翻转。这样一来，在将本实用新型的拾取装置设置到零件安装机上使用时，在通过吸附嘴同时拾取了多个裸片的状态下使该吸附嘴上下翻转，可通过零件安装机的安装嘴将该吸附嘴上的多个裸片一个个依次吸附并安装到电路基板上，可提高生产率。

附图说明

图1是本实用新型的实施例1中的裸片拾取装置的立体图。

图2是设置了实施例1的裸片拾取装置的零件安装机的立体图。

图3是表示实施例1的裸片的片剥离的滑动动作开始时的状态(省略切割片的图示)的立体图。

图4是表示实施例1的裸片的片剥离的滑动动作结束时的状态(省略切割片的图示)的立体图。

图5是说明实施例1的切割片上的各裸片和剥离台的片吸引孔的位置关系的俯视图。