[实用新型]裸片拾取装置

权利要求书

1.一种裸片拾取装置，具有：吸附嘴，拾取切割片上的裸片，该切割片上粘贴了将晶圆切割为棋盘格状而形成的多个裸片；剥离台，从上述切割片的下表面侧吸引要通过上述吸附嘴拾取的裸片的粘贴部分，而对该裸片的粘贴部分进行片剥离，上述剥离台具有吸引上述切割片的片吸引孔，通过上述吸附嘴吸附保持上述切割片上的裸片，且使上述剥离台从该裸片的粘贴部分的近前侧滑动至该裸片的粘贴部分的正下方，从而通过上述片吸引孔对该裸片的粘贴部分逐渐进行片剥离，其特征在于，

上述吸附嘴构成为能够同时拾取多个裸片，

上述剥离台的片吸引孔形成为，通过上述吸附嘴同时吸附保持上述多个裸片，且同时对该多个裸片的粘贴部分进行片剥离。

2.根据权利要求1所述的裸片拾取装置，其特征在于，

上述吸附嘴具有对于能够同时拾取的多个裸片按照每个裸片分别独立地切换吸附/不吸附的单元。

3.根据权利要求1或2所述的裸片拾取装置，其特征在于，

上述剥离台具有对于能够通过上述吸附嘴同时拾取的多个裸片的粘贴部分按照每个裸片分别独立地切换吸引/不吸引的单元。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的裸片拾取装置，其特征在于，

上述吸附嘴构成为能够在同时拾取了多个裸片的状态下上下翻转。