[发明专利]电源系统

摘要

本发明涉及一种电源系统，所述电源系统包括电源装置，用于对半导体设备提供直流电源，所述电源装置内具有一电源模块以及被所述电源模块因工作产生的热量而加热的气体；冷却装置，搭载在所述电源装置上，所述冷却装置包括第一通道以及与所述第一通道相接触进行热交换的第二通道，所述第二通道内具有外接循环流动的冷却液；所述第一通道与所述电源装置相连通构成一气体循环回路，在循环单元的作用下所述气体在所述气体循环回路内循环流动，所述加热的气体由所述电源装置流动到所述第一通道中，将热量传递给所述第二通道内的冷却液，所述气体得到冷却后，流回所述电源装置内，从而实现对所述电源模块的冷却，避免将加热的气体排放到洁净室中。

主权项

一种电源系统，其特征在于：包括：电源装置，用于对半导体设备提供直流电源，所述电源装置内具有一电源模块以及被所述电源模块因工作产生的热量而加热的气体；冷却装置，搭载在所述电源装置上，所述冷却装置包括第一通道以及与所述第一通道相接触进行热交换的第二通道，所述第二通道内具有外接循环流动的冷却液；所述第一通道与所述电源装置相连通构成一气体循环回路，所述气体循环回路中设置有一循环单元，在所述循环单元的作用下所述气体在所述气体循环回路内循环流动，所述加热的气体由所述电源装置流动到所述第一通道中，将热量传递给所述第二通道内的冷却液，所述气体得到冷却后，流回所述电源装置内。