[发明专利]电源系统

权利要求书

1.一种电源系统，其特征在于：包括：

电源装置，用于对半导体设备提供直流电源，所述电源装置内具有一电源模块以及被所述电源模块因工作产生的热量而加热的气体；

冷却装置，搭载在所述电源装置上，所述冷却装置包括第一通道以及与所述第一通道相接触进行热交换的第二通道，所述第二通道内具有外接循环流动的冷却液；

所述第一通道与所述电源装置相连通构成一气体循环回路，所述气体循环回路中设置有一循环单元，在所述循环单元的作用下所述气体在所述气体循环回路内循环流动，所述加热的气体由所述电源装置流动到所述第一通道中，将热量传递给所述第二通道内的冷却液，所述气体得到冷却后，流回所述电源装置内。

2.如权利要求1所述的电源系统，其特征在于：所述电源装置的出气孔正对贴合所述第一通道的进气口，所述电源装置的进气孔正对贴合所述第一通道的出气口，从而构成所述气体循环回路。

3.如权利要求2所述的电源系统，其特征在于：所述循环单元为冷却风机，所述冷却风机位于所述电源装置的出气孔和进气孔处，或所述循环单元为循环泵，所述循环泵位于所述第一通道内。

4.如权利要求1所述的电源系统，其特征在于：所述电源装置的出气孔与所述第一通道的进气口连接，所述电源装置的进气孔与所述第一通道的出气口连接，从而构成所述气体循环回路。

5.如权利要求4所述的电源系统，其特征在于：所述循环单元为冷却风机，所述冷却风机位于所述电源装置的出气孔和进气孔处，或所述循环单元为循环泵，所述循环泵位于所述第一通道内。

6.如权利要求1-5中任意一项所述的电源系统，其特征在于：所述第一通道嵌套在所述第二通道内。

7.如权利要求6所述的电源系统，特征在于：所述第一通道为螺旋状或分枝状。

8.如权利要求1所述的电源系统，其特征在于：所述冷却液为冷却水或冷却油。

9.如权利要求1所述的电源系统，其特征在于：所述第二通道具有一冷却液输入管和一冷却液输出管，

所述冷却液为冷却水，所述冷却液输入管和冷却液输出管均分别一端与所述第二通道相连，另一端通向安装所述半导体设备的洁净室外；或所述冷却液为冷却油，在安装所述半导体设备的洁净室外还设置有一冷却油冷却单元，所述冷却液输入管和冷却液输出管均分别一端与所述第二通道相连，另一端连接所述冷却油冷却单元。

10.如权利要求1所述的电源系统，其特征在于：所述半导体设备为金属有机化学气相沉积设备。