[发明专利]电源系统

说明书

技术领域

本发明涉及对半导体设备提供直流电源的电源装置，特别是涉及一种电源系统。

背景技术

在洁净室中的半导体设备，如金属有机化合物化学气相沉淀(Metal-organic Chemical Vapor Deposition，简称MOCVD)等设备，需要专门的电源装置提供直流电源，所述电源装置中具有大功率的直流电源模块，所述电源模块在工作时会产生出大量的热能并使所述电源模块温度上升，如果所述电源模块的温度过高会导致所述电源模块工作效率变低甚至会烧毁所述电源模块。为了保证所述电源模块能正常工作，所述电源模块自带有冷却风机，所述冷却风机的作用是向所述电源模块内抽入冷却气体(冷却气体为洁净室的气体，其的温度一般为洁净室的室温)对所述电源模块的散热器降温，所述冷却气体与所述电源模块的散热器进行热交换，使所述电源模块的散热器得到降温，所述冷却气体被加热为加热的气体，同时所述电源模块排出所述加热的气体到所述电源装置中，这些加热的气体直接由所述电源装置内的排放风机抽走并排放到洁净室里。

由所述电源装置排出的大量加热的气体会给洁净室的空调系统增加大量的负担，因此需增加空调系统的容量，导致空调系统成本增加；通常洁净室中都要求温度恒定在一定的温度范围内，如22℃～24℃之间，然而，由所述电源装置排出的大量加热的气体破坏了洁净室局部地方的恒温环境，对半导体的工艺制备产生不良影响。

因此，如何提供一种半导体设备的所述电源装置的冷却技术，减少或消除现有技术中破坏洁净室的恒温环境的问题，已成为本领域技术人员需要解决的技术。

发明内容

现有技术的电源系统存在破坏洁净室的恒温环境以及空调系统成本高的问题，本发明提供一种能解决上述问题的电源系统。

本发明提供一种电源系统，包括：

电源装置，用于对半导体设备提供直流电源，所述电源装置内具有一电源模块以及被所述电源模块因工作产生的热量而加热的气体；

冷却装置，搭载在所述电源装置上，所述冷却装置包括第一通道以及与所述第一通道相接触进行热交换的第二通道，所述第二通道内具有外接循环流动的冷却液；

所述第一通道与所述电源装置相连通构成一气体循环回路，所述气体循环回路中设置有一循环单元，在所述循环单元的作用下所述气体在所述气体循环回路内循环流动，所述加热的气体由所述电源装置流动到所述第一通道中，将热量传递给所述第二通道内的冷却液，所述气体得到冷却后，流回所述电源装置内。

进一步的，所述电源装置的出气孔正对贴合所述第一通道的进气口，所述电源装置的进气孔正对贴合所述第一通道的出气口，从而构成所述气体循环回路。

进一步的，所述循环单元为冷却风机，所述冷却风机位于所述电源装置的出气孔和进气孔处，或所述循环单元为循环泵，所述循环泵位于所述第一通道内。

进一步的，所述电源装置的出气孔与所述第一通道的进气口连接，所述电源装置的进气孔与所述第一通道的出气口连接，从而构成所述气体循环回路。

进一步的，所述循环单元为冷却风机，所述冷却风机位于所述电源装置的出气孔和进气孔处，或所述循环单元为循环泵，所述循环泵位于所述第一通道内。

进一步的，所述第一通道嵌套在所述第二通道内。

进一步的，所述第一通道为螺旋状或分枝状。

进一步的，所述冷却液为冷却水或冷却油。

进一步的，所述第二通道具有一冷却液输入管和一冷却液输出管，

所述冷却液为冷却水，所述冷却液输入管和冷却液输出管均分别一端与所述第二通道相连，另一端通向安装所述半导体设备的洁净室外；或所述冷却液为冷却油，在安装所述半导体设备的洁净室外还设置有一冷却油冷却单元，所述冷却液输入管和冷却液输出管均分别一端与所述第二通道相连，另一端连接所述冷却油冷却单元。

进一步的，所述半导体设备为金属有机化学气相沉积设备。

与现有技术相比，本发明提供的电源系统具有以下优点：